TruPlasma Bipolar 4000 시리즈(G2.1)

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차세대 양극 펄서

유연한 출력 신호와 정교한 아크 관리 기능을 갖춘 TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 공정 전원 공급 장치는 PVD, PECVD, 반응 스퍼터 프로세스를 사용하는 플라즈마 코팅에 맞게 특수 개발되어, 반도체 및 솔라셀 제조, 장식 및 내마모 코팅, 건축용 유리 코팅 분야에서 우수한 결과를 제공합니다.

매우 낮은 아크 에너지

최고의 층 품질 및 생산성을 위한 완전 디지털화된 아크 관리

조정 가능한 파형

출력 신호의 변경으로 인해 상이한 프로세스에 대해 간단한 조정

하나의 발진기, 많은 어플리케이션

직류, 펄스 직류 및 바이폴라: 다양한 설정 옵션 덕분에 비용 절감

내장형 워터 쿨링

외부 컴포넌트가 필요하지 않기 때문에 매우 적은 공간만 필요

최고 등급의 전원 공급

통상적 적용 범위는 반도체 및 광전지 생산, 건축 유리 코팅 및 최고 품질의 내마모적 장식 코팅물 제조입니다. 특히 PVD 및 PECVD 공정에 사용됩니다.

완벽한 코팅, 높은 생산성

매우 낮은 아크 에너지를 이용하는 완전 디지털 아크 관리를 통해 높은 층 품질 및 증착율을 구현합니다. TruPlasma 바이폴라 4000 시리즈(G2.1)는 매우 까다로운 반응 공정의 경우에서도 항상 균일한 공정 전류 공급 및 안정적 플라즈마 상태를 보장합니다.

더 큰 유연성, 더 낮은 비용

TruPlasma 바이폴라 4000 시리즈(G2.1) 발진기는 조정 가능한 파형을 통하여 다양한 공정 요건에 따라 매우 간단하게 조정될 수 있습니다. 이 발진기는 출력 신호(직류, 펄스 직류 또는 바이폴라)를 유연하게 선택할 수 있어서 광범위하게 사용할 수 있으며, 전체 운용 비용(TCO)를 절감할 수 있도록 지원합니다.

모든 것을 하나의 하우징으로

환경 영향으로부터 보호되는 발진기 하우징 내에 완전히 통합된 워터 쿨링 덕분에 외부 컴포넌트가 불필요합니다.

PVD Power

운영 친화적 다언어 소프트웨어 PVD Power는 프로세스 품질 최적화 및 효과적 고장 처리를 위한 다양한 조작, 컨피규레이션 및 진단 가능성을 제공합니다: 모든 관련 공정 파라미터의 실제값, 경고 및 경보 알림의 표시, 조작자에 의한 목표값 설정 내용, 중요 운영 파라미터를 높은 시분해능으로 기록 및 시각화(오실로코프 기능)

다양한 시스템 컴포넌트 선택을 통해 바이폴라 펄스 발생기를 시스템 환경에 최상으로 매칭시킬 수 있습니다.