극초단/초단 펄스 레이저

TruMicro 5000 시리즈

신속하면서 경제적

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초점 광학장치

마이크로 재료 가공: 최대로 생산적

TRUMPF의 초단 펄스 레이저 및 극초단 펄스 레이저는 품질, 생산성 및 수익성이 최적으로 조합된 무제한적인 산업 적합성을 지닌 마이크로 가공을 가능하도록 합니다. 특별한 펄스 및 출력 안정성은 펄스 생성과 펄스 출력의 분리에 의해 달성되었습니다. 특허를 받은 컨트롤 시스템은 모든 개별적인 펄스의 모니터링을 제공하며 펄스 에너지를 어플리케이션에 필요한 레벨로 공급합니다. TruMicro 5000 시리즈의 피코초 레이저는 500 μJ까지의 높은 펄스 에너지가 특징입니다. 탁월한 빔 품질 및 150 W의 평균 출력일 때 그렇습니다. 이는 마이크로 재료 가공에서 최대의 생산성을 제공합니다. 이 시리즈는 거의 모든 재료를 열 영향을 감지할 수 없을 정도로 신속하게 증발시킵니다. 따라서 반도체, 금속, 절연체, 플라스틱 및 유리 가공에 최적으로 적합합니다.

100% 맞춤형 펄스

초고속 출력 변조기는 출력 및 펄스 에너지 레벨을 정확하게 유지합니다.

차가운 작업에 다재다능

뚜렷한 열 유입 없이 온도에 민감한 소재를 가공할 수 있습니다.

통합이 용이해짐

TruMicro 레이저는 쉽게 통합할 수 있으며 모든 통상적인 인터페이스에 적합합니다.

완전 출력

재생 디스크 기술 덕분에 개별 펄스에서도 100%의 평균 출력

무제한적으로 산업에 적합함

성공적인 TruMicro 5000 시리즈를 기반으로 하는 레이저는 매일의 제조 작업을 위해 만들어졌습니다.

최적의 품질을 위해 매우 안정적임

TruMicro 5000 시리즈의 극초단 펄스 레이저는 10 ps 이하로 극도로 짧은 펄스 및 500 μJ까지의 높은 펄스 에너지로 깊은 인상을 줍니다. 이 시리즈는 거의 모든 재료를 열 영향을 감지할 수 없을 정도로 신속하게 증발시킵니다. 특허받은 내장 외부 변조기에 의한 이단 레이저 출력 제어는 레이저를 모든 펄스 및 전체 출력 범위에서 절대적으로 안정적으로 만들어 줍니다. 펄스 피크 출력은 최대 40 MW입니다.

열 유입이 없거나 목적에 맞게 조정됨

몇 피코초의 레이저 펄스를 이용하면, 실질적으로 열적 및 기계장치적 영향을 받지 않고 재료를 효율적으로 가공할 수 있습니다. 이를 위해 레이저 펄스 및 에너지 투입 시간은 전자장치와 부속 원자 간의 온도 균등화를 방지할 수 있도록 충분히 짧아야 합니다. 재료는 급격하게 기화됩니다. 열이 주변 재료에 도달하지 않아, 열 응력 균열이 방지됩니다. 이를 "냉간 가공"이라고 합니다. 금속 및 다수의 재료를 위해 이상적인 펄스 기간은 1 ~ 10 ps 입니다.

유리의 레이저 절단

재료의 기계적인 하중은 유리 레이저 절단 시 TruMicro 극초단 펄스 레이저에 의해 최소로 감소되기 때문에 벤딩에 균열이 발생하지 않으며, 이를 통해서 절단된 부품을 연마할 필요가 없습니다. 바로 디스플레이 산업에서 화학적으로 경화된 유리가 내구성 있는 보호 유리 및 캐리어 기판으로 사용되고 있으며 절단되어야 필요성이 있습니다.

유리의 고속 레이저 절단

이 레이저는 현재 높은 파손 내구성이 있는 화학적으로 경화된 유리를 절단하는 유일하게 안전하고 유연한 프로세스입니다. 유리는 레이저 및 절단 광학장치 TOP Cleave로 경화 프로세스 후에 분리되며 에지 품질은 탁월합니다.

유연한 형상

레이저를 사용해서 기계적인 프로세스와 반대로 유연한 이차원 또는 삼차원 형상 위한 마모와 접촉이 없는 프로세스를 사용할 수 있습니다. 이때 TruMicro 5000 시리즈의 피코초 레이저는 완벽한 툴입니다.

레이저 절단된 스텐트

스텐트 생산 시 버가 없는 절단면 및 벤딩은 결정적으로 중요합니다. 피코초 레이저는 추가 작업이 없는 제조를 가능하도록 하며 니티놀 소재의 스탠트 제조 시 이익을 증가시킵니다. 극초단 레이저 기술은 이러한 극도로 열에 민감한 형상 기억 합금 소재의 생체 흡수형 스텐트의 절단을 최초로 가능하도록 하였습니다.

사파이어의 고정밀 구조화

사파이어는 스마트폰의 고해상도 카메라를 보호하며 LED 제조 시 기판으로, 고가의 제품에서는 커버 글라스로 사용됩니다. 사파이어는 극도로 내구성이 강하며 단단합니다. 이로 인해 사파이어를 전통적인 수단으로 균열없이 효율적으로 가공하는 것은 매우 어렵습니다. TruMicro 5000 시리즈의 레이저를 사용해서 후가공이 필요 없는 품질에 도달할 수 있습니다.

레이저로 절단된 사파이어 샘플

TruMicro 5000 시리즈의 피코초 레이저로 정밀한 형상을 고품질로 절단할 수 있습니다. 이외에도 피코초 레이저의 높은 평균 출력은 최고의 생산성을 제공합니다.

회로기판의 보링이 쉬어짐

현대의 회로기판은 다층으로 구성되어 있으며 이로 인해 특히 컴팩트합니다. 구리로 덮인 홀과 트레이스는 표면을 관통해 연결됩니다. 이를 위해 종종 직경이 100 μm 이하인 홀을 보링합니다. 피코초 레이저는 이러한 작업을 단 한번의 작업 과정으로 수행할 수 있습니다. 가용성이 높은 펄스 피크 출력은 원하는 형상 및 품질을 극도로 높은 생산성을 유지하면서도 가능하게 합니다.

회로기판의 마이크로 보링

회로기판 기층의 구멍을 클로즈업 해서 보면 TruMicro 레이저가 얼마나 고품질로 가공을 수행했는지 알 수 있습니다. 이를 위해서는 생산성 역시 향상시키는 가용성이 높은 펄스 피크 출력이 기본입니다.

세라믹 플레이트에 레이저 보링

양호한 전기 절연 특성 및 높은 온도 내구성으로 인해 질화 알루미늄, 알루미나, 질화규소, 지르코니아 등과 같은 기술 관련 세라믹은 다양한 방면에서 찾는 재료가 되었습니다. 피코초 레이저를 사용해서 이러한 재료에 고품질의 매우 작은 직경을 가지는 구멍을 낼 수 있습니다.

취성의 단단한 재료(세라믹, 유리, 사파이어)의 레이저 가공

TruMicro 5000 시리즈의 레이저를 사용해서 세라믹과 같이 취성의 단단한 재료를 고품질로 가공할 수 있습니다. 이때 얇은 세라믹의 보링 및 절단은 피코초 레이저의 전문 분야입니다. 이 레이저의 도움으로 매우 작은 직경을 고품질로 가공할 수 있습니다.

얇은 텡스텐의 마이크로 보링

직경이 약 70 마이크로미터 내지 0.2밀리미터인 얇은 텅스텐을 사용하여 격자 모양으로 배열된 마이크로 보링.

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레이저 변수
평균 아웃풋 출력	50 W	100 W	150 W	60 W	90 W	30 W	45 W
빔 품질 (M²)	< 1.3 표준, M² < 1,2(옵션)	< 1.3 Standard, M² < 1,2 optional	< 1.3 Standard, M² < 1,2 optional	< 1.3 Standard, M² < 1,2 optional	< 1.3 표준, M² < 1,2(옵션)	< 1.3 Standard, M² < 1,2 optional	< 1.3 표준, M² < 1,2(옵션)
파장	1030 nm	1030 nm	1030 nm	515 nm	515 nm	343 nm	343 nm
펄스 기간	< 10 ps	< 10 ps	< 10 ps	< 10 ps	< 10 ps	< 10 ps	< 10 ps
최대 펄스 에너지	500 µJ	500 µJ	250 µJ	150 µJ	150 µJ	75 µJ	75 µJ
최소 반복률	100 kHz	200 kHz	600 kHz	400 kHz	600 kHz	400 kHz	600 kHz
최대 반복률	1000 kHz	1000 kHz	1000 kHz	1000 kHz	1000 kHz	1000 kHz	1000 kHz
디자인
레이저 헤드 치수 (W x H x D)	680 mm x 289 mm x 1060 mm	680 mm x 289 mm x 1060 mm	680 mm x 289 mm x 1060 mm	680 mm x 289 mm x 1060 mm	680 mm x 289 mm x 1060 mm	680 mm x 289 mm x 1060 mm	680 mm x 289 mm x 1060 mm
공급장치 치수 (W x H x D)	442 mm x 1192 mm x 910 mm	442 mm x 1192 mm x 910 mm	442 mm x 1192 mm x 910 mm	442 mm x 1192 mm x 910 mm	442 mm x 1192 mm x 910 mm	442 mm x 1192 mm x 910 mm	442 mm x 1192 mm x 910 mm
설치
보호등급	IP54	IP54	IP54	IP54	IP54	IP54	IP54
주변 온도	20 °C - 30 °C	20 °C - 30 °C	20 °C - 30 °C	20 °C - 30 °C	20 °C - 30 °C	20 °C - 30 °C	20 °C - 30 °C

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레이저 변수
평균 아웃풋 출력	50 W	100 W	150 W	60 W	90 W	30 W	45 W
빔 품질 (M²)	< 1.3 표준, M² < 1,2(옵션)	< 1.3 Standard, M² < 1,2 optional	< 1.3 Standard, M² < 1,2 optional	< 1.3 Standard, M² < 1,2 optional	< 1.3 표준, M² < 1,2(옵션)	< 1.3 Standard, M² < 1,2 optional	< 1.3 표준, M² < 1,2(옵션)
파장	1030 nm	1030 nm	1030 nm	515 nm	515 nm	343 nm	343 nm
펄스 기간	< 10 ps	< 10 ps	< 10 ps	< 10 ps	< 10 ps	< 10 ps	< 10 ps
최대 펄스 에너지	500 µJ	500 µJ	250 µJ	150 µJ	150 µJ	75 µJ	75 µJ
최소 반복률	100 kHz	200 kHz	600 kHz	400 kHz	600 kHz	400 kHz	600 kHz
최대 반복률	1000 kHz	1000 kHz	1000 kHz	1000 kHz	1000 kHz	1000 kHz	1000 kHz
디자인
레이저 헤드 치수 (W x H x D)	680 mm x 289 mm x 1060 mm	680 mm x 289 mm x 1060 mm	680 mm x 289 mm x 1060 mm	680 mm x 289 mm x 1060 mm	680 mm x 289 mm x 1060 mm	680 mm x 289 mm x 1060 mm	680 mm x 289 mm x 1060 mm
공급장치 치수 (W x H x D)	442 mm x 1192 mm x 910 mm	442 mm x 1192 mm x 910 mm	442 mm x 1192 mm x 910 mm	442 mm x 1192 mm x 910 mm	442 mm x 1192 mm x 910 mm	442 mm x 1192 mm x 910 mm	442 mm x 1192 mm x 910 mm
설치
보호등급	IP54	IP54	IP54	IP54	IP54	IP54	IP54
주변 온도	20 °C - 30 °C	20 °C - 30 °C	20 °C - 30 °C	20 °C - 30 °C	20 °C - 30 °C	20 °C - 30 °C	20 °C - 30 °C

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TruControl

TruControl은 신속하면서 간편하게 조작할 수 있는 TRUMPF 고체 레이저의 제어 시스템입니다. TruControl은 재현성 가능한 결과를 위해 레이저 출력을 실시간 제어합니다. TruControl은 인터페이스 할당을 관리, 제어 및 시각화합니다. 모든 레이저 기술 전반에 걸쳐 단일의 제어 시스템 아키텍처라는 이점이 있습니다. 레이저는 예컨대 모니터링 초점 광학장치 CFO 또는 스캐너 광학장치 PFO와 같은 지능형 TRUMPF 광학장치를 제어하기 위한 인터페이스를 제공합니다. 가공 광학장치는 레이저 컨트롤 시스템에서 편리하게 프로그래밍됩니다. 또한 TRUMPF의 리모트 서포트는 원격 지원을 통한 신속한 도움을 제공합니다. 이를 통해 서비스 방문이 예방되거나 최상으로 대비될 수 있어서, 레이저 장비의 가용성이 증대됩니다.

제품

TruMicro 5000 시리즈의 레이저와 함께 유용한 추가 옵션들을 이용하여 더 효율적이며 신뢰할 수 있는 공정으로 작업할 수 있습니다.

Condition Monitoring (상태 모니터링)

당사의 TRUMPF 전문가 및 알고리즘을 통해 레이저를 외부에서 모니터링할 수 있습니다. 이상현상의 첫 징후가 나타나면 사전에 연락을 드립니다. 따라서 계획되지 않은 생산 정지상태를 피할 수 있습니다.

스마트 솔루션을 위한 디지털 연결 및 통합

많은 TRUMPF의 기계를 자신의 소프트웨어 세계에 원활하게 통합하는 것은 쉽고 문제가 없습니다. Oseon으로의 통합이든 또는 모니터링 및 분석 툴(Tool)에 대한 연결이든 모든 조합에 적합한 솔루션을 제공합니다. OPC UA 표준에 기반한 당사 인터페이스를 통해 타사 소프트웨어 시스템에 연결도 가능합니다.

TRUMPF는 레이저부터 소재까지 빔 가이드에 필요한 모든 컴포넌트를 제공합니다. 수년 동안 산업 현장에서 정밀함과 신뢰성을 입증한 다양한 초점 광학장치 역시 제공됩니다. 광학장치는 스탠드 얼론 가공 스테이션뿐만 아니라 전체 제조 라인에도 쉽게 통합됩니다. 모듈식 구조를 통해 광학장치는 레이저 타입뿐 아니라 다양한 가공 상황에 따라 지속적으로 조정될 수 있습니다.