레이저 드릴링 시 높은 출력 밀도의 짧은 레이저 펄스가 단기간에 에너지를 자재에 전달합니다. 이로 인해 재료가 용융되고 증발합니다. 펄스 에너지가 클수록 더 많은 재료가 용융 및 증발합니다. 증발 시 구멍 내 재료 부피가 급격하게 증가하고 높은 압력이 형성됩니다. 이 증기 압력은 용융된 재료를 구멍에서 밀어냅니다.
이 레이저 가공의 특이한 점은 피코세컨 단위의 극 초단 펄스 레이저가 사용되는 것입니다. 가공 시 재료는 용융되지 않은 상태에서 직접 승화를 통해 고체 상태에서 증발되므로 컴포넌트가 가열되지 않습니다.
이러한 기본 원리를 근거로 수 년에 걸쳐 다음과 같은 다양한 드릴링 방법이 개발되었습니다. :