TruPlasma VHF 3000シリーズ

TruPlasma VHF 3000シリーズのモジュール式プラットフォームコンセプトでは、出力を最大80 kWにまで拡大することが可能です。CombineLineテクノロジーの採用により、ジェネレータは不整合の場合も非常に強靭に反応します。周波数範囲が幅広く、供給電圧及びケーブル長が可変であるため、様々なアプリケーションや使用国に合わせて柔軟にカスタマイズできます。

TruPlasma VHF 3000シリーズの高周波RFジェネレータは、最新の半導体技術とLDMOSパワートランジスタをフル活用した構造になっています。高度に統合化されたプラナー構造技術により、最高の出力密度が得られるだけでなく、同時にエネルギー効率も上昇するため、冷却出力が低下します。この製品群は、この周波数範囲では前例のない経済性を提供しており、市場における通常の運転コストよりも低価格で動作します。

SystemPortは、マッチボックスの入力/出力で直接RF信号を測定することにより、クローズドループ制御を可能にします。高周波RFジェネレータに、全ての測定値が提供されます。これによりプロセスパラメータの監視が改善され、マッチボックスの保護及び早期アーク検出を保証することができます。つまり、RFシステム全体を単一のジェネレータインタフェースで制御することができます。

プラズマプロセスは、複雑な変動性負荷のような挙動を示し、ジェネレータからの継続的な電力供給を必要とします。この役割を担うアクティブな調整ネットワーク、いわゆるマッチボックスにより、50 Ωの最適なインピーダンスへの正確な調整が常に保証されます。こうして、完璧に相互調整されたシステムソリューションであるTRUMPF RFシステムが実現されます。EtherCATなど様々なインタフェースを介して、ジェネレータとマッチボックスを既存のプロセス環境に極めて容易に統合することができます。いわゆるSzstemPortと呼ばれるインテリジェントなジェネレータマッチボックス接続ポートにより、最適化されたシステムソリューションが可能になります。