新世代のコンパクトな直流ジェネレータ
TruPlasma DC 3000 (G2) シリーズは多数の直流スパッタリングプロセスに適しており、パルスプロセス電力供給の代替として使用することも可能です。なぜなら、先進的なアーク管理により、最高の膜品質と生産高の著しい上昇が保証されるからです。水冷式のこの直流ジェネレータは構造が極めてコンパクトであるため、既存のアプリケーションに非常に簡単に統合することができます。
このクラス最少のアークエネルギー
0.3 mJ/kW未満の残留エネルギーは、最高のコーティング品質と高い成膜率を保証します。
高い出力密度
極めてコンパクトな構造 (19インチのインサート) であることから、より高い出力でも簡単に統合できます。
大きな出力幅
20 kW～300 kWの出力があるため、さらに大きなジェネレータの代わりとしても使用可能。
完全水冷
長いシステム動作時間が可能になり、メンテナンスの手間が軽減されます。
容易なシステム統合
可変供給電圧 (400 V～480 V) 及び様々なデータインタフェース。
国によっては、この製品ラインナップと製品情報が異なる場合があります。技術、装備、価格及び提供アクセサリーは変更されることがあります。 現地担当者に問い合わせて、国内で製品を入手できるかどうかを確認してください。
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