プラズマ励起

TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1)シリーズ

最高品質での膜の仕上がり

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最新世代のバイポーラパルスジェネレータ

PVD、PECVD及び反応性スパッタリングプロセスによるプラズマコーティング専用に開発されたTruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) シリーズのプロセス電力供給装置では、柔軟に構成可能な出力信号及び洗練されたアーク管理により、ソーラーセルや半導体の製造、装飾的で耐摩耗性の膜のコーティング、並びに建築用ガラスのコーティングの際に、極めて優れた結果が得られます。

極めてわずかなアークエネルギー

最高のコーティング品質と生産性を実現する完全デジタル式のアーク管理

調整可能な波形

様々な出力信号により異なるプロセスに合わせて容易にカスタマイズ可能

1つのジェネレータで多数のアプリケーションに対応

直流、パルス直流、バイポーラ: 多様な設定オプションでコスト削減

内蔵型水冷

外部コンポーネントは不要であるため非常に省スペース

国によっては、この製品ラインナップと製品情報が異なる場合があります。技術、装備、価格及び提供アクセサリーは変更されることがあります。 現地担当者に問い合わせて、国内で製品を入手できるかどうかを確認してください。

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波形が重要なバイポーラスパッタリング
この記事では、バイポーラ電力供給の2つの特徴を紹介しています。その1つ目は、パルス周波数範囲が広く、最大100 kHzにまで至ることであり、2つ目は、電流と電圧の矩形波の正半波と負半波の間に中断時間が追加されることです。
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正弦波または矩形波
高絶縁膜のデュアルマグネトロンスパッタリング(DMS)が導入されて以来、矩形波パルスと正弦波電力供給が選択可能になっています。

お客様向け情報

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Gleichstrom-Generator TruPlasma DC 3040
難度の高いスパッタリングプロセスに特に好適

TruPlasma DC 3000 (G2) シリーズのジェネレータは、ソーラーセル製造でのコーティング工程と建築用ガラスのコーティングに最適です。

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