プラズマ励起

TruPlasma Arc 3000シリーズ

見事な硬い材料の膜をアークで実現

生産性の新定義

TruPlasma Arc 3000シリーズの製品群は、過酷な工業環境でのアークカソードプロセスにおけるキーコンポーネントです。このジェネレータは、硬い材料のコーティングや装飾的なコーティングで特に威力を発揮します。さらに、イオン注入や同要件の直流アプリケーションなど多数の高電流アプリケーションにとって、選び抜かれたエネルギー源でもあります。

硬い材料のコーティングに理想的

最新の分析手順とデジタルフィードバックによりプロセス制御が向上。

アークカソードプロセスに理想的

複数のジェネレータの並列接続により高電流及び高出力

コンパクトな構造

内蔵された空冷装置により貴重な使用可能面積を有効に活用可能

将来に向けた装備

多様なインタフェース (アナログ、ProfiBUS、RS232/485など) により簡単に設備統合可能。

国によっては、この製品ラインナップと製品情報が異なる場合があります。技術、装備、価格及び提供アクセサリーは変更されることがあります。 現地担当者に問い合わせて、国内で製品を入手できるかどうかを確認してください。

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アーク管理
アーク処理

反応性スパッタリングで最適な膜品質を得るには、アーク処理が極めて重要です。この白書にはその理由が記載されています。

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