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プラズマ励起

TruPlasma Arc 3000シリーズ

見事な硬い材料の膜をアークで実現

生産性の新定義

TruPlasma Arc 3000シリーズの製品群は、過酷な工業環境でのアークカソードプロセスにおけるキーコンポーネントです。このジェネレータは、硬い材料のコーティングや装飾的なコーティングで特に威力を発揮します。さらに、イオン注入や同要件の直流アプリケーションなど多数の高電流アプリケーションにとって、選び抜かれたエネルギー源でもあります。

硬い材料のコーティングに理想的

最新の分析手順とデジタルフィードバックによりプロセス制御が向上。

アークカソードプロセスに理想的

複数のジェネレータの並列接続により高電流及び高出力

コンパクトな構造

内蔵された空冷装置により貴重な使用可能面積を有効に活用可能

将来に向けた装備

多様なインタフェース (アナログ、ProfiBUS、RS232/485など) により簡単に設備統合可能。

硬い材料のコーティング

TruPlasma Arc 3000シリーズのジェネレータは、硬い材料のコーティングや装飾的なコーティングで特に威力を発揮します。

再現性の極めて高いプロセス条件

卓越した電流安定性を実現するTruPlasma Arc 3000シリーズの特別な出力及び制御アーキテクチャにより、一貫して良好で再現性のあるプロセス条件が保証されます。

アーク点火制御の簡易化による生産性の向上

内蔵型の電気的点火回路及び独立した点火出力により、迅速で確実な点火が可能になり、それに伴って生産性が向上します。

トラブルフリーの運転による時間の節約

あらゆる電圧レベルにおいて、迅速なDSP制御によりアークが一定に保たれるため、運転が安定し、介入する必要性が低下します。

多種多様に使用可能

電流範囲の選択肢が幅広いため、多数のアプリケーションに対応でき、コーティングプロセスのあらゆる要件に合わせて最適にカスタマイズすることができます。

PVD Power

使いやすく、複数の言語に対応するソフトウェアPVD Powerにより、プロセス品質の最適化と効果的なトラブルシューティングを目的として、様々な操作、構成及び診断を行うことができます: 関連する全プロセスパラメータの実測値、警告、アラームメッセージの表示、オペレータによる規定値の指定、高い時間分解能による重要な運転パラメータの記録と可視化 (オシロスコープ機能)。

国によっては、この製品ラインナップと製品情報が異なる場合があります。技術、装備、価格及び提供アクセサリーは変更されることがあります。 現地担当者に問い合わせて、国内で製品を入手できるかどうかを確認してください。

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反応性スパッタリングで最適な膜品質を得るには、アーク処理が極めて重要です。この白書にはその理由が記載されています。

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