プラズマ原子層堆積

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PEALDテクノロジー、RF信号発生器とマッチネットワーク

Atomic Layer Deposition（ALD：原子層堆積法）とは、気相から大量の薄膜素材が析出される手法のことです。コーティングサイクルを何度も行うことで、原子層から成る極薄の膜が形成されます。

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Dr. Jan Peter Engelstädter

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