Con questo procedimento il laser fa evaporare il materiale riducendo al minimo la fusione. Il vapore crea nella fessura di taglio un'alta pressione che fa fuoriuscire con forza la massa fusa verso l'alto.
Il gas di processo, l'azoto, l'argon o l'elio, scherma le superfici di taglio solo dall'ambiente. Esso fa sì che i bordi di taglio siano inossidabili. Per questo motivo è sufficiente una pressione del gas di 1 - 3 bar.
L'evaporazione del metallo richiede più energia della fusione. Il taglio per sublimazione necessita quindi di potenze laser elevate ed è più lento di altri metodi di taglio. D'altra parte produce bordi di taglio di alta qualità.