Eccitazioni del plasma

TruPlasma VHF Serie 3000

Adatto a tutte le esigenze

Innovativa, modulare, scalabile: la nuova piattaforma di generatori di TRUMPF Hüttinger

I generatori TruPlasma VHF Serie 3000 si basano su di un concetto di piattaforma innovativo che permette massimi valori di irradianza soddisfacendo i requisiti di processo più severi. La struttura modulare raffreddata esclusivamente ad acqua permette di riprodurre in scala la potenza di uscita sino ad 80 kW. Inoltre, i compatti generatori VHF convincono per la loro alta redditività e il loro robusto design.

Forma di impulso arbitraria, precisa e veloce

Ciò permette di ottenere il miglior controllo del processo al plasma per il pulsing single level e multi level.

Tempo di rampa minimo < 150 ns

Permette un controllo flessibile del comportamento d'innesco del generatore.

Auto Frequency Tuning intelligente

Adattamento automatico della frequenza per un'interazione ottimale fra il generatore e la rete di adattamento.

Controllo di processo affidabile e sofisticato

Risultati di processo eccellenti e riproducibili, grazie alla modulazione di frequenza digitale di alta precisione.

Indipendentemente dalla lunghezza del cavo

Non è necessario adattare la lunghezza del cavo HF in caso di cambi di processo, quindi tempi di attrezzaggio più brevi.

Design robusto

Funzionamento affidabile del generatore, anche in caso di disadattamento, grazie alla tecnologia CombineLine.

Sono possibili scostamenti da questa gamma di prodotti e da questi dati in funzione del paese. Con riserva di modifiche relative a tecnica, dotazione, prezzo e offerta di accessori. Contattare il proprio interlocutore locale per sapere se il prodotto è disponibile nel proprio paese.

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