TruPlasma RF 1000 Air Serie

Il design robusto e flessibile dei generatori ad alta frequenza permette di aumentare la quantità del materiale lavorato e di ridurre i costi di esercizio.

La tecnologia brevettata CombineLine, con matching intelligente in tempo reale, garantisce la disponibilità ottimale del TruPlasma RF 1001 Air e impedisce in maniera affidabile oscillazioni del plasma e impurità.

Grazie alla sua struttura compatta (apparecchio da innesto da 19 pollici ½), il generatore ad alta frequenza presenta ingombri minimi e risulta ideale per nuove installazioni e come soluzione di retrofit in impianti esistenti. Le numerose interfacce disponibili (interfaccia analogica configurabile, EtherNet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) ne semplificano l'integrazione.

Il dosaggio preciso dell'energia in step da 100 mW del TruPlasma RF 1001 Air permette di ottenere i migliori risultati anche nelle applicazioni più moderne ed esigenti, come la Atomic Layer Deposition (ALD). La regolazione della potenza di massima precisione del generatore ad alta frequenza garantisce la migliore riproducibilità wafer-to-wafer.

Funzioni di comando digitali, come Smart Auto Frequency Tuning 2.0, Arc Management e Multi-Level Pulsing, consentono un adattamento ottimale del generatore ad alta frequenza al rispettivo processo.

Nel design unitario dei generatori sono disponibili diverse classi di potenza e frequenze, pertanto i generatori possono essere sostituiti quando lo richiedono le variazioni che intercorrono nel processo. Non è più necessario neppure adattare la lunghezza del cavo.

La SystemPort permette di chiudere il circuito di regolazione misurando il segnale RF direttamente sull'entrata e sull'uscita della rete di adattamento. In questo modo tutti i valori rilevati sono sempre disponibili per il generatore HF. Si garantiscono il monitoraggio costante dei parametri di processo, la protezione della rete di adattamento e un tempestivo riconoscimento di archi.