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Eccitazioni del plasma

TruPlasma DC Serie 4000 (G2)

Processi pulsati per superfici brillanti

Eccellente gestione di processi complessi

I generatori TruPlasma DC Serie 4000 (G2) sono stati sviluppati specificamente per lo sputtering reattivo CC di materiali difficili. I generatori funzionanti con corrente continua pulsata sono ampiamente collaudati soprattutto per i processi PVD e PECVD critici, in cui vengono richieste contemporaneamente massima qualità dello strato superficiale e massima produttività. Le compatte alimentazioni elettriche CC possono essere impiegate sia in esercizio pulsato, sia in esercizio Bias - praticamente, due apparecchi in un unico alloggiamento.

Elevata qualità dello strato e grande produttività

Grazie al dispositivo di elaborazione digitale dei segnali, i processi risultano stabili e si riducono al minimo i ritardi causati dagli archi.

Risultati ottimi anche in processi di critici

La combinazione fra la gestione rapida degli archi e la tecnologia a CC pulsata riduce i danneggiamenti del substrato.

Adattamento semplice al processo

Grazie all'ampio spettro di frequenze e alla tensione inversa adattabile.

Struttura compatta e robusta

Il raffreddamento ad acqua integrato permette di risparmiare spazio e di ridurre i costi per la manutenzione.

Rivestimento con materiale duro

L'applicazione di strati funzionali su pezzi soggetti ad alte sollecitazioni meccaniche crea una maggiore durezza superficiale ed un maggiore attrito statico, nonché una migliore stabilità termica e chimica. I generatori pulsati TruPlasma DC Serie 4000 (G2) garantiscono un processo al plasma stabile e, dunque, una qualità dello strato ottimale.

Metallizzazione

Il processo PVD consente di applicare sottilissimi strati di metallo su diversi materiali, al fine di conferire loro caratteristiche ottiche ed elettriche ottimali. L'alimentazione elettrica adattata alla perfezione ai parametri di processo permette la separazione di strati assolutamente omogenei e privi di difetti.

Produzione di celle solari

Per influire sulle caratteristiche elettriche di celle solari, schermi piatti e touchscreen, tali elementi vengono rivestiti con materiali elettroconduttori (TCO). Grazie alla loro bassissima energia dell'arco i generatori pulsati TruPlasma DC Serie 4000 (G2) si prestano alla perfezione a tale scopo.

Vetro architettonico

Nel processo al plasma PVD, il rivestimento di grandi superfici di vetro architettonico richiede un'alimentazione elettrica adeguata. I generatori pulsati TruPlasma DC Serie 4000 (G2) offrono i presupposti ideali per un rivestimento di altissima qualità.

Elevata qualità dello strato e grande produttività

La combinazione fra il trattamento rapido dell'arco e la tecnologia di impulso CC riduce la percentuale di goccioline rilasciate e i difetti superficiali. Le interruzioni del processo causate dagli archi vengono ridotte al minimo, il tasso di separazione viene notevolmente aumentato.

Adattamento flessibile al processo

La frequenza di impulso è caratterizzata da un ampio intervallo di adattamento; inoltre il generatore CC può funzionare in modalità Bias. Ciò permette di utilizzare un unico apparecchio per un gran numero di applicazioni. Sofisticati strumenti di monitoraggio aiutano ad ottimizzare il processo.

Le diverse opzioni permettono di adattare in modo ottimale il generatore pulsato CC all'applicazione in uso.

Funzionamento parallelo e sincronizzazione

È possibile far funzionare in maniera sincrona più generatori a corrente continua TruPlasma DC Serie 4000 (G2). Questa modalità permette la sincronizzazione del riconoscimento di archi di più generatori allineati su diversi obiettivi. Anche la modalità di impulso può essere sincronizzata.

PVD Power

L'intuitivo software multilingue PVD Power offre numerose possibilità di comando, configurazione e diagnosi per ottimizzare la qualità del processo ed eliminare efficacemente gli errori: visualizzazione dei valori effettivi di tutti i parametri di processo pertinenti nonché di avvisi e messaggi d'allarme, preimpostazione di valori nominali da parte dell'operatore e registrazione e indicazione di importanti parametri di esercizio con alta risoluzione temporale (funzione oscilloscopio).

Sono possibili scostamenti da questa gamma di prodotti e da questi dati in funzione del paese. Con riserva di modifiche relative a tecnica, dotazione, prezzo e offerta di accessori. Contattare il proprio interlocutore locale per sapere se il prodotto è disponibile nel proprio paese.

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