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Eccitazioni del plasma

TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2.1)

Qualità finale dello strato ottimale

Generatori di impulsi bipolari di ultima generazione

Gli alimentatori del TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2.1) sono stati sviluppati specificamente per il rivestimento al plasma tramite processi PVD, PECVD e sputtering reattivo e con segnali d'uscita di forme flessibili e una gestione perfezionata dell'arco permettono di ottenere risultati eccellenti nella produzione di celle solari e semiconduttori, nell'applicazione di rivestimenti decorativi e resistenti all'usura e nel rivestimento di vetro per uso architettonico.

Energia dell'arco estremamente ridotta

Gestione completamente digitale degli archi per massima qualità dei rivestimenti e massima produttività.

Forme d'onda regolabili

Semplice adattamento a diversi processi grazie alla variazione del segnale d'uscita.

Un generatore, molte applicazioni

CC, CC pulsata e bipolare: abbattimento dei costi grazie alle svariate opzioni di impostazione.

Raffreddamento ad acqua integrato

Non servono componenti esterni, quindi gli ingombri sono minimi.

Alimentazione elettrica di alto livello

I campi di applicazione tipici sono la produzione di semiconduttori e di celle fotovoltaiche, il rivestimento di vetro architettonico nonché la produzione di strati decorativi e resistenti all'usura di massima qualità. In tale ambito vengono impiegati soprattutto processi PVD e PECVD.

Strati perfetti, alta produttività

La gestione dell'arco completamente digitale con energia dell'arco estremamente ridotta permette di ottenere alta qualità degli strati ed elevate velocità di separazione. Anche nel caso di processi reattivi complessi, i generatori TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2.1) garantiscono sempre un'alimentazione uniforme della corrente di processo e, dunque, un plasma stabile.

Più flessibilità, meno costi

Attraverso forme d'onda regolabili è possibile adattare i generatori TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2.1) alle diverse esigenze di processo in modo molto semplice. Grazie alla selezione flessibile del segnale d'uscita (CC, CC pulsata o bipolare), è possibile utilizzare questi generatori in maniera versatile, riducendo così i costi totali di esercizio (TCO).

Tutto in un alloggiamento

Il raffreddamento ad acqua completamente integrato nell'alloggiamento del generatore protetto dagli agenti atmosferici rende superfluo qualsiasi componente esterno.

PVD Power

L'intuitivo software multilingue PVD Power offre numerose possibilità di comando, configurazione e diagnosi per ottimizzare la qualità del processo ed eliminare efficacemente gli errori: visualizzazione dei valori effettivi di tutti i parametri di processo pertinenti nonché di avvisi e messaggi d'allarme, preimpostazione di valori nominali da parte dell'operatore, nonché registrazione e indicazione di importanti parametri di esercizio con elevata risoluzione temporale (funzione oscilloscopio).

La possibiltà di scegliere i diversi componenti di sistema consente di adattare nel migliore modo possibile il generatore di impulsi Bipolar al vostro ambiente di sistema.

Cavo di rete

Sono disponibili diversi tipi di cavi e connettori per differenti standard di connessione.

Sono possibili scostamenti da questa gamma di prodotti e da questi dati in funzione del paese. Con riserva di modifiche relative a tecnica, dotazione, prezzo e offerta di accessori. Contattare il proprio interlocutore locale per sapere se il prodotto è disponibile nel proprio paese.

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Ehab Alhawari
Sales TRUMPF Hüttinger
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