Generatori al plasma

I generatori al plasma basati sulla tecnologia a stato solido della TruPlasma MW Serie presentano un concetto di piattaforma innovativo e densità di plasma altissime per soddisfare i requisiti più stringenti dei processi. I nano-impulsi permettono di impostare in modo ottimale svariati parametri del plasma per l'applicazione desiderata.

Con segnali d'uscita di forme flessibili e una gestione perfezionata dell'arco, l'alimentazione elettrica fornita dai generatori TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2.1) permette di ottenere risultati eccellenti nella produzione di celle solari e semiconduttori, nell'applicazione di rivestimenti decorativi e resistenti all'usura e nel rivestimento di vetro per uso architettonico. I generatori di ultima generazione sono idonei per processi particolarmente esigenti, quali lo sputtering reattivo, il PVD e il PECVD.

I generatori a media frequenza TruPlasma Serie MF 7000 (G2) permettono di tenere sempre sotto controllo il processo: si ottengono così eccellenti qualità degli strati e la massima produttività anche in applicazioni di rivestimento complesse e su ampie superfici. Con rendimenti di picco superiori al 90%, questi alimentatori di ultima generazione assicurano un funzionamento particolarmente redditizio.

L'alimentazione elettrica fornita dai generatori TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) permette di ottenere rivestimenti di materiale duro particolarmente resistenti alla corrosione e all'usura, pertanto questi generatori sono la prima scelta per le applicazioni HiPIMS. In combinazione con substrati polarizzati, i TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) sono in grado di asservire anche applicazioni a semiconduttore, come ad es. il trattamento preliminare di superfici, il trench filling e l'incisione.

Nel generatore TruPlasma DC Serie 4000 (G2) sono combinati l'eccellente gestione degli archi di TRUMPF Hüttinger e i vantaggi della tecnologia CC pulsata. Si possono così ottenere migliori risultati di rivestimento, con meno difetti e allo stesso tempo maggior tasso di separazione. Il risultato: superfici brillanti ed elevata resa di produzione.

I generatori TruPlasma DC Serie 3000 (G2) rappresentano una nuova generazione di generatori a corrente continua idonei per svariati processi di sputtering CC. Grazie all'innovativa gestione degli archi e al raffreddamento ad acqua integrato, i generatori di corrente continua sono interessanti anche come alternativa economica ai generatori di corrente continua pulsati. La struttura molto compatta permette inoltre una semplice integrazione in applicazioni esistenti.

I generatori TruPlasma Arc Serie 3000 si distinguono soprattutto in applicazioni di rivestimento con materiale duro e rivestimenti decorativi. Grazie alla struttura compatta e al raffreddamento ad aria viene garantito lo sfruttamento ottimale di prezioso spazio, e l'integrazione in sistemi nuovi o già esistenti risulta facilitata.

Il generatore ad alta frequenza raffreddato ad aria TruPlasma RF 1001 Air eroga fino a 1000 watt di energia ad alta frequenza riproducibile di alta precisione e con risoluzione estrema – in step da 100 mW. Per questo motivo è idoneo per le più svariate applicazioni al plasma. Che si tratti di produrre semiconduttori, celle solari o display, la tecnologia brevettata TRUMPF Hüttinger garantisce sempre la massima disponibilità e i migliori risultati, grazie a moderne funzioni di processo.

I TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13) sono generatori ad alta frequenza di ultima generazione. Funzioni innovative, come ad esempio la tecnologia brevettata di accoppiamento CombineLine o la misurazione in tempo reale di tutti i parametri di processo, garantiscono un'alimentazione elettrica sicura anche in processi al plasma complessi. Sono quindi assicurati i presupposti ottimali per risultati riproducibili ed elevata produttività.

I potenti generatori ad alta frequenza TruPlasma RF Serie 3000 si contraddistinguono per la massima efficienza e la massima stabilità di processo. Trovano quindi impiego ideale in processi al plasma complessi, come ad esempio quelli per la produzione di schermi piatti, di celle solari o di semiconduttori. Reti di adattamento dell'impedenza perfettamente abbinate al generatore assicurano in qualsiasi momento un trasferimento ottimale e stabile della potenza dal generatore al plasma.

Massima potenza per il processo: i generatori TruPlasma VHF Serie 3000 si basano su un concetto di piattaforma innovativo in grado di soddisfare anche i requisiti di processo più esigenti. La struttura modulare e raffreddata ad acqua dei generatori VHF permette la messa in scala della potenza di uscita fino a 80 kW - tutto nel minimo spazio!

Per la conduzione ottimale di un processo al plasma, occorre adattare con esattezza l'impedenza di uscita del generatore ad alta frequenza. Le reti di adattamento dei generatori TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) sono il giusto anello di congiunzione tra generatore e processo per assolvere questo compito. In questo modo viene generata una soluzione unitaria per l'alimentazione elettrica del processo: il sistema RF TRUMPF.