RF rendszermegoldás egy öntésből
A TruPlasma Match 1000 (G2/13) sorozat új matchboxai ideális kiegészítései a TRUMPF Hüttinger nagyfrekvenciás generátorainak. Az intelligens illesztő algoritmusnak és a folyamatfelügyelethez való digitális vezérlő platformnak köszönhetően olyan teljes megoldás jön létre, amelyben minden komponens optimálisan együttműködik – a TRUMPF RF rendszer.
Gyors, stabil és reprodukálható impedancia igazítás 50 ohmhoz még kritikus eljárásokban is.
Modern szoftver és továbbfejlesztett kommunikáció a generátor és a matchbox között.
A rendszer gyors utánállítása a matchbox és terhelés minden impedancia változásánál.
A folyamatparaméterek optimális felügyelete, valamint időben történő spontán ívkisülés felismerés.
Grafikus felhasználói felület és hatékony eszközök (Smith diagram, valós idejű oszcilloszkóp).
Félvezetők, napelemek és síkképernyők gyártása
Félvezetők, napelemek és síkképernyők esetén a stabil plazmafolyamatok döntő fontosságúak. A TRUMPF Hüttinger nagyfrekvenciás generátorokkal kapcsolatban a TruPlasma Match 1000 (G2/13) sorozat matchboxai teljes megoldást kínálnak a legnagyobb folyamatstabilitás és termelékenység érdekében.
A kemény anyag és kopásvédő rétegek felvitele
A funkcionális rétegek felvitelével az erősen igénybe vett munkadarabok mechanikai keménysége, valamint a termikus és vegyi stabilitásuk jobb lesz. A TruPlasma Match 1000 (G2/13) sorozat matchboxai a TRUMPF Hüttinger nagyfrekvenciás generátorával együttműködve tökéletes rétegminőséget biztosítanak.
Felületek eltávolítása és bevonatolása
A TruPlasma Match 1000 (G2/13) sorozat matchboxai minden megszokott plazmafolyamathoz használhatók felületek eltávolításához és bevonatolásához – például plazmamarás, reaktív ionmarás, ALD, PECVD, RF-Sputtering vagy fotoreziszt plazmaégetés. A TRUMPF Hüttinger egyik nagyfrekvenciás generátorával való együttműködésben optimális folyamateredmények érhetők el.
Mindig tökéletes folyamat-ellenőrzés
A matchbox mindig gondoskodik az impedancia 50 ohmos gyors és közvetlen igazításról – így a nagyfrekvenciás generátor teljes teljesítményleadása mindig garantált. A folytonos kommunikáció a matchbox és a generátor között optimális folyamat-ellenőrzést és időben történő spontán ívkisülés felismerést tesz lehetővé.
Az összes paraméter áttekintése
A nagyfrekvenciás be- és kimenő teljesítmény valós idejű mérése dinamikus impedancia változásokat jelez, a hűtés érzékelők a veszteségi teljesítmény megbízható előrejelzését teszik lehetővé. A komplex ábrázolási opciókkal rendelkező grafikus kezelői szoftvernek köszönhetően (Smith-Chart, valós idejű oszilloszkóp) minden releváns folyamatparaméter mindig áttekinthető.
TRUMPF SystemPort
A SystemPort zárt szabályozó körforgást tesz lehetővé az RF jel mérése révén közvetlenül a matchbox bemeneténél és kimeneténél. Az RF generátornak minden mért érték rendelkezésére áll. Így a folyamatparaméterek jobban felügyelhetők, a matchbox jobban védhető, és a spontán ívkisülés felismerés időben biztosítható. A teljes RF rendszer egyes generátor interfészeken keresztül vezérelhetők.
Rendkívül pontos AC árammérés a plazma anomáliák felismeréséhez, az eljáráshoz közeli matchboxba helyezve, közvetlenül a kamránál.
Opcionális interfészként analóg/digitális PROFIBUS és EtherCAT áll rendelkezésre. A standard az EtherNet, a SystemPort és az RS232/485.
Az átgondolt spontán ívkisülés kezelés az ideális modul a legjobb plazma eljárás ellenőrzéshez. A célzott spontán ívkisülés felismerés a lehető legjobb termelékenységet garantálja, és egyidejűleg védi a terméket és a berendezést.
Grafikus kezelői szoftver
A komplex grafikus ábrázolások lehetővé teszik minden releváns folyamatparaméter átfogó ellenőrzését. A terhelés és matchbox impedancia egy Smith diagram segítségével, a nagyfrekvenciás be- és kimenő teljesítmény, beleértve a frekvencia- és fázisállapotot, egy valós idejű oszcilloszkóp segítségével jelenik meg.
TruControl Power
A TruControl Power kezelőbarát vezérlő szoftver a nagyfrekvenciás generátor kényelmes üzembe helyezését és biztonságos felügyeletét teszi lehetővé a teljes TRUMPF RF rendszerben a folyamatban lévő eljárás alatt.
A komplex grafikus ábrázolások lehetővé teszik minden releváns folyamatparaméter átfogó ellenőrzését. A terhelés és matchbox impedancia egy Smith diagram segítségével, a nagyfrekvenciás be- és kimenő teljesítmény, beleértve a frekvencia- és fázisállapotot, egy valós idejű oszcilloszkóp segítségével jelenik meg.
A főoszcillátorokkal a kritikus szinkron plazma eljárások stabilizálhatók és optimalizálhatók. Egy integrált digitális frekvencia- és fázis-szintetizátor gondoskodik nagyfokú frekvencia- és fázisstabilitásról, és a fázisállapot beállítását igen kis lépéstávolságokkal teszi lehetővé. Különböző kivitelű főoszcillátorokból lehet választani 13,56 MHz frekvenciákhoz, valamint különböző frekvencia kombinációhoz.
A nagyfrekvenciás átkapcsoló a nagyfrekvenciás generátor plazma eljárás különböző állomásain való többszörös felhasználást teszi lehetővé, például a szekvenciális eljárások áramellátásához vagy különböző betáplálási pontokkal rendelkező rendszerekben. Különböző nagyfrekvenciás átkapcsolók kaphatók két teljesítményosztályban, valamint 2, 3 vagy 4 kimenettel.
A nagyfrekvenciás teljesítményátvitelhez a TRUMPF Hüttinger olyan koaxiális vezetékeket kínál, amelyeket az 50 ohmos rendszerekben való üzemhez terveztek.
A plazmafolyamat optimális irányítása
A plazmafolyamatok olyan komplex, változó terhelésként viselkednek, amelyhez az áramellátást a generátoron keresztül folyamatosan után kell állítani. Ezt az aktív igazító hálózatok, az úgynevezett matchboxok teljesítik, amelyek mindig biztosítják az 50 ohmos optimális impedancia precíz igazítását. Így jön létre egy tökéletesen egymásra hangolt rendszermegoldás, a TRUMPF RF rendszer. A különböző interfészeken, többek között az EtherCAT-en keresztül, a generátor és a matchbox igen egyszerűen a folyamat meglévő környezetébe integrálható, és egy intelligens generátor matchbox kapcsolattal, az úgynevezett SystemPort-tal, optimalizált rendszermegoldás érhető el.
Országonként eltérések lehetnek a termékválasztékban és ezekben az adatokban. A technika, felszereltség, ár és tartozékkínálat változtatásának jogát fenntartjuk. Kérjük, lépjen kapcsolatba a helyi kapcsolattartójával, hogy megtudja, hogy a termék az Ön országában rendelkezésre áll-e.
