A legjobb választás a HIPIMS alkalmazásokhoz
A TruPlasma Highpulse 4000 (G2) sorozat generátorai a DC fémbevonó generátorok alternatívájaként a meglévő magnetron rendszerekben módosítás nélkül használhatók. Különösen korrózióálló és kopásálló kemény anyag bevonatolást eredményeznek, és a legjobb választást jelentik a High Power Impulse Magnetron Sputtering alkalmazásokhoz.
A legfeljebb 4 megawattos, kifogástalan csúcsteljesítmények extrém plazmasűrűséget hoznak létre nagy ionfolyamokkal.
A meglévő katódrendszerekhez és az eljárás feltételeihez való egyszerű igazíthatóság a készülék optimális bekötését teszi lehetővé.
Az impulzusvezérlésű PVD fémbevonó eljárás legújabb fejlesztéseként a HIPIMS különösen korrózióálló és kopásálló kemény anyag bevonatolást eredményez.
DC módban is használható, nincs szükség kiegészítő egyenáramú generátorra.
Kemény anyag bevonatolás
A funkcionális rétegek felvitelével az erősen igénybe vett munkadarabok kéregedzése és tapadó súrlódása, valamint a termikus és vegyi stabilitása jobb lesz. A TruPlasma Highpulse 4000 (G2) sorozat generátorai rendkívül stabil plazma eljárásról és így kiváló rétegminőségről gondoskodnak.
Félvezető/fotovoltaika
A napelemek és félvezetők területén számos alkalmazási terület van a méretre szabott munkaenergiához. A TruPlasma Highpulse 4000 (G2) sorozat generátorai optimálisan a mindenkori eljáráshoz igazíthatók és kiváló bevonatolási paramétereket, valamint nagyfokú termelékenységet tesznek lehetővé.
Üvegbevonatok
Az építészeti üveg nagy felületű bevonatolásai a PVD plazma eljárásban különösen magas követelményeket támasztanak az eljárás áramellátásával szemben. A TruPlasma Highpulse 4000 (G2) sorozat generátorai ideális feltételeket nyújtanak a kiváló minőségű bevonatoláshoz.
Optimális folyamateredmények
A nagyfokú csúcsteljesítmények erősen ionizált plazmát hoznak létre, és nagy ionfolyamokat tesznek lehetővé. Ezáltan nagyon koherens és sűrű filmek érhetők el cseppek nélkül. A polarizált szubsztrátum konfigurációkkal kombinálva a TruPlasma Highpulse 4000 (G2) sorozat generátorai átgondolt eredményeket nyújtanak a marási és trench-filling alkalmazásokhoz.
Teljesen digitális spontán ívkisülés-kezelés
A beállítható impulzus-időtartam és -frekvencia, a bővített teljesítményparaméterek és a csekély spontán ívkisülés-energiával járó, teljesen digitális spontán ívkisülés-kezelés cseppmentes fémbevonást, minimális filmhibákat, illetve garantáltan kiváló rétegminőséget és leválasztási arányt tesz lehetővé.
Nagyszerű bevonatok
A nagy energia és nagy, akár 2 kV-os feszültségek kiváló minőségű bevonatok gyártását teszik lehetővé – a kis laborokban és a nagy ipari létesítményekben egyaránt. Az akár 5 ms-os impulzusok és akár 10 kHz-es frekvenciák növelik a leválasztási arányt, és így segítik csökkenteni a teljes üzemeltetési költséget.
Nagyfokú folyamatstabilitás
A beállítható frekvenciával való teljesítményszabályozás gondoskodik arról, hogy a leválasztási paraméterek igényes reaktív eljárásoknál is állandók maradjanak. Így az eljárások órákon és napokon át stabilak maradnak, anélkül, hogy beavatkozásra lenne szükség.
Kompakt egység
A TruPlasma Highpulse sorozat generátorai egy egységet alkotnak kompakt méretben. Nincs szükségük külső egyenáram-ellátásra, teljesen vízhűtésesek, és így lehetővé teszik a tiszta levegőjű helyiségben való alkalmazást.
A különböző opciók révén a TruPlasma Highpulse 4000 sorozat (G2) optimálisan az alkalmazáshoz igazítható.
A csekély spontán ívkisülés energiával járó, teljesen digitális spontán ívkisülés kezelés kiváló rétegminőséget és leválasztási arányt tesz lehetővé.
PVD Power
A kezelőbarát, többnyelvű PVD Power szoftver a kezelés, konfiguráció és diagnózis sokrétű lehetőségeit kínálja az eljárás minőségének és a hatékony hibaelhárítás optimalizálásához, minden releváns folyamatparaméter tényleges értékének, illetve a figyelmeztetések és riasztások kijelzéséhez, valamint az előírt értékek kezelő általi megadásához, illetve a fontos üzemi paraméterek feljegyzését és megjelenítését időbeli felbontással (oszilloszkóp funkcióval).
Országonként eltérések lehetnek a termékválasztékban és ezekben az adatokban. A technika, felszereltség, ár és tartozékkínálat változtatásának jogát fenntartjuk. Kérjük, lépjen kapcsolatba a helyi kapcsolattartójával, hogy megtudja, hogy a termék az Ön országában rendelkezésre áll-e.
