Plazmagenerátorok

A TruPlasma MW Serie szilárdtesten alapuló plazmagenerátorai egy innovatív platform koncepcióból állnak, és a kifinomult folyamatkövetelményekhez a legmagasabb plazmasűrűséget állítják elő. A nano-impulzusok által számos plazmaparaméter optimálisan beállítható a kívánt alkalmazáshoz.

A TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) sorozat folyamat áramellátásai a rugalmasan alakítható kimeneti jelekkel és kidolgozott spontán ívkisülés kezeléssel kiváló eredményt nyújtanak napelemek és félvezetők gyártásánál, dekoratív és kopásmentes rétegek felvitelénél, valamint építészeti üveg bevonatolásánál. A generátorok legújabb generációja kiválóan alkalmas olyan igényes plazmaeljárásokhoz, mint a reaktív fémbevonás, PVD és PECVD.

A TruPlasma MF 7000 (G2) sorozat középfrekvenciás generátoraival mindig minden eljárást kézben tart – az eredmény pedig kiváló rétegminőség és maximális termelékenység igényes, nagy felületű bevonatolási alkalmazások esetén is. A több mint 90%-os kimagasló hatékonysági fokkal a legújabb generációs áramellátások rendkívül gazdaságosak üzemelés közben.

A TruPlasma Highpulse 4000 (G2) sorozat folyamat áramellátásai különösen korrózióálló és kopásálló kemény anyag bevonatolást eredményeznek, és a legjobb választást jelentik a HIPIMS alkalmazások esetén. A polarizált szubsztrátumokkal kombinálva a TruPlasma Highpulse 4000 (G2) sorozat félvezető alkalmazásokat is tud kezelni, pl. trench-filling, felületek előkezelése és marás.

A TruPlasma DC 4000 (G2) sorozat a TRUMPF Hüttinger kiváló spontán ívkisülés kezelését a DC impulzus technológia előnyeivel egyesíti. Így Ön jobb bevonatolási eredményeket ér el kevesebb meghibásodással nagyobb leválasztási arány mellett. Az eredmény: kiváló felületek és gyártási teljesítmény.

Az egyenáramú generátorok új generációjaként a TruPlasma DC 3000 (G2) sorozat számos DC fémbevonó eljáráshoz alkalmas. A modern spontán ívkisülés kezelésnek és az integrált vízhűtésnek köszönhetően a DC generátorok az impulzusvezérlésű DC generátorok költséghatékony alternatívájaként is érdekesek. Az igen kompakt felépítés ezenfelül a meglévő alkalmazásokba való egyszerű integrációt teszi lehetővé.

A TruPlasma Arc 3000 sorozat generátorai elsősorban a kemény anyag és dekoratív bevonatolásnál nyújtanak meggyőző teljesítményt. A kompakt felépítés és léghűtés révén garantált az értékes hasznos felület optimális kihasználása, és megkönnyíti az integrációt az új vagy a meglévő rendszerekbe.

A léghűtéses TruPlasma RF 1001 Air nagyfrekvenciás generátor akár 1000 watt nagy pontosságú, reprodukálható nagyfrekvenciás energiát ad rendkívül finom felbontásban – 100 mW-os lépésekben –, és így a legkülönbözőbb plazma alkalmazásokhoz is alkalmas. Félvezetők, napelemek vagy képernyők gyártásánál – a szabadalmaztatott TRUMPF Hüttinger technológia mindenhol a legjobb rendelkezésre állást és folyamat-eredményeket garantálja a modern folyamat funkcióknak köszönhetően.

A TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) sorozat a legújabb generációs nagyfrekvenciás generátorok. Az olyan innovatív funkcióknak köszönhetően, mint a szabadalmaztatott CombineLine kapcsoló technológia vagy az összes folyamatparaméter valós idejű mérése, a biztonságos áramellátás az igényes plazmafolyamatokban is garantált – optimális előfeltételek a reprodukálható eredmények és nagyfokú termelékenység érdekében.

A TruPlasma RF 3000 sorozat nagyfrekvenciás generátorai a legnagyobb fokú hatékonysággal és folyamatstabilitással tűnnek ki. Ezért ideálisan alkalmasak az igényes plazmafolyatokhoz, például a félvezetők, napelemek és síkképernyők gyártásánál alkalmazzák őket. A pontosan az impendancia igazításához való, a generátorhoz hangolt matchboxok mindig gondoskodnak arról, hogy a generátor optimális és stabil teljesítményt adjon át a plazmának.

Csúcsteljesítmény az eljárásához: a TruPlasma VHF 3000 sorozat generátorainak alapja egy olyan innovatív platform koncepció, amely még a legigényesebb folyamatkövetelményeket is teljesíti. A VHF generátorok moduláris és tisztán vízhűtéses felépítése a kimenő teljesítmény legfeljebb 80 kW-ig történő kalibrálását teszi lehetővé – méghozzá helyszűke esetén is!

A plazma folyamat optimális vezetése érdekében nagyon fontos a nagyfrekvenciás generátor kimenő impedanciájának pontos testreszabása. Ezt nyújtják a TruPlasma Match 1000 (G2/13) sorozat matchboxai a generátor és az eljárás közötti összekötőként. Ily módon a folyamat áramellátásának teljes megoldása az Ön számára – a TRUMPF RF rendszer.