Ország/régió és nyelv kiválasztása
Új

TruPlasma MW Serie 1000/3000/5000

Robusztus szilárdtest-teljesítmény-plazmagenerátor a legmagasabb plazmasűrűséghez és folyamatkövetelményekhez

Robusztus és magas teljesítményű szilárdtest-teljesítmény-plazmagenerátor a legmagasabb plazmasűrűséghez és folyamatkövetelményekhez

TruPlasma MW Serie generátorai a szilárdtest-technológián alapulnak, és jelentősen magasabb frekvenciapontossággal működnek, mint a magnetron alapú mikrohullám-generátorok. Az innovatív platform koncepció képes a legmagasabb plazmasűrűséget és a rendkívül kifinomult folyamatkövetelményeket hatékonyan és gazdaságosan megvalósítani. A moduláris felépítés emellett a kimenő teljesítmény pontos skálaelosztását teszi lehetővé. Az áramellátás eközben mindvégig stabil marad a folyamatminőség bárminemű korlátozása nélkül. A félvezetők, napelemek és kijelzők gyártásában a TruPlasma MW Serie a modern folyamatfunkcióknak köszönhetően a legjobb eredményeket és a maximális megbízhatóságot biztosítja.

Pontos és gyors impulzusformálás

Egy innovatív pulsing a nanoszekundum-tartományban lehetővé teszi a legjobb plazmafolyamat-ellenőrzést.

Okos auto frekvencia tuning

Az automatikus frekvencia-beállítás optimális folyamateredményt és magas reprodukálhatóságot biztosít.

Szinkron fázisok

A többantennás rendszerekben a különböző generátorok fázisszinkronban üzemeltethetők és pulzálhatók. Az egyes generátorok közötti fázisviszonyok változtatásával egy nagy felületű plazmahomogenitás érhető el.

Robusztus design

Hagyatkozzon a generátor működésére – a folyamat minőségét még a hibák sem korlátozzák.

Megbízható folyamatellenőrzés

Használja ki a magas pontosságú, digitális frekvenciamodulációt, amely gondoskodik a reprodukálható folyamateredményekről, a magas rétegminőségről és produktivitásról.

Valós idejű kommunikáció több generátorral

A digitális EtherCat interfész által a készüléket rendkívül gyorsan, egy ezredmásodperc alatt irányíthatja. Ez egy precíz plazmafelosztást tesz lehetővé.

Napelemek gyártása

A napenergia területén a plazmafolyamatok, mint a porlasztás vagy PECVD az anyag felvitelére és eltávolítására szolgálnak. A TruPlasma MW Serie generátorai gyorsan hozzáilleszthetők a különböző folyamatokhoz, és magas produktivitást, illetve elsőosztályú folyamateredményeket biztosítanak. A precíz energia-adagolásnak köszönhetően a legmodernebb, legkifinomultabb alkalmazásoknál is a legjobb eredményeket produkálják. Emellett a magas pontosságú teljesítményszabályozás a legjobb „wafer-to-wafer”-ismételhetőséget teszi lehetővé.

Félvezetők gyártása

A plazmagenerátorokat a legkülönfélébb plazmafolyamatokhoz használják a félvezetők gyártásában – a száraz maratástól a zónahúzásig a szilíciumgyártásban. TruPlasma MW Serie optimalizált áramellátást kínál mindezen folyamatokhoz

Síkképernyők bevonata

A síkképernyők bevonásánál TruPlasma MW generátoraink olyan plazmafolyamatokban mutatják meg erősségeiket, mint a PECVD, ALD és RIE.

Országonként eltérések lehetnek a termékválasztékban és ezekben az adatokban. A technika, felszereltség, ár és tartozékkínálat változtatásának jogát fenntartjuk. Kérjük, lépjen kapcsolatba a helyi kapcsolattartójával, hogy megtudja, hogy a termék az Ön országában rendelkezésre áll-e.

Ezek a témák is érdekelhetik Önt

TRUMPF Hüttinger Worldwide
Az Ön kapcsolattartója a TRUMPF Hüttingernél

Érdeklődik egy termék iránt, vagy tanácsadásra van szüksége? Itt találja meg a kapcsolattartókat világszerte.

TruConvert: A rugalmas megoldás a tárolási alkalmazásához

A moduláris rendszer egyedileg igazítható és skálázható, illetve hálózati csatlakozásként, sziget- vagy mikro hálózat megoldásként konfigurálható.

Indukciós alkalmazások

Az indukciós melegítés számos alkalmazási lehetőséget kínál, például azt a kihívást is, hogy minden eljáráshoz a legjobb megoldást kidolgozzuk. A TRUMPF Hüttinger generátorai a hagyományos eljárásokat éppúgy kiszolgálják, mint a speciális alkalmazást. 

Kapcsolat
Ehab Alhawari
Sales TRUMPF Hüttinger
E-mail
Services
Szervizmegállapodások Tudjon meg még többet Műszaki ügyfélszolgálat Tudjon meg még többet Oktatások Tudjon meg még többet Eredeti alkatrészek Tudjon meg még többet
Download
Szerviz & kapcsolat