A High Power Seed Module (HPSM) két néhány watt erősségű kezdeti impulzust létrehozó Seedlaser-ből, valamint számos aktív és passzív optikai komponensből áll, amelyek a lézersugarat formázzák, és gondoskodnak az optimális impulzushosszról. Az első erősítővel a fény 100 W-os nagyságrendre előerősítésre kerül. A Seedlaser-eket a védőmechanizmusok optimálisan védik a tükröződésektől, így a teljes rendszer stabilitása jelentősen megnő, és elérhető a szükséges állandó EUV teljesítmény.

A High Power Amplification Chain (HPAC) a teljesítményt növelő négy rezonátorból áll, amelyeket a sugárvezető elemek kötik össze. Minden rezonátor a mindenkori erősítési szinthez van optimalizálva (pl. ventilátor, RF gerjesztés, gázelegy, sugárvezető). A rendszer szükséges stabilitását három különböző hűtőkör biztosítja. A rövid impulzusok extrém nagyfokú Peak kimenő teljesítményről gondoskodnak a mikrohullámú tartományban. Az átfogó online metrológia a sugár folyamatos mérésének az alapja.

A Beam Transport System (BTS) – amely egy szerelvénylapból, egy periszkópból és egy tükörből áll – a lézersugarat akár 30 méterig a cseppkamrába szállítja. Alapvetően a rendszer nagy terhelés melletti mechanikus stabilitása és a sugárvezető tömítettsége is döntő az alacsony abszorpció és szennyezettség szempontjából. A tükör speciális bevonattal van ellátva, hogy a lehető legkevesebb lézerfény kerüljön elnyelésre.

A FFA két berendezésrészből áll: egy Optics Platform-ból és egy Focusing Unit-ból Az ideális plazmavillámlás létrehozásához a lézerimpulzusnak majdnem teljesen el kell találnia az óncseppet. Mivel azonban az óncsepp kisebb a lézersugár átmérőjénél, az Optics Platform-ban különválik az elő- és fő impulzus, és az optimális EUV létrehozásához formázásra kerül. Az elő-impulzus csak kisebb impulzusteljesítménnyel éri az óncseppet, így a csepp lemez alakú képződménnyé duzzad, és a felülete megnövekszik. Az utána jövő fő impulzust a keletkezett folyadékfilm elnyeli, és létrejön a tulajdonképpeni plazma, amely EUV sugárzást hoz létre. Ily módon a 40 kilowattos lézerteljesítmény hatékonyan kihasználásra kerül, és biztosítja a plazmavillámok folyamatbiztos létrehozását a levilágításhoz. A Focusing Unit a lézerfény óncseppre való optimális fókuszálásáról gondoskodik.