A szilárdtest lézerrel való strukturálás és leválasztás sokáig alig volt ismert. Amióta mindenki a mikromegmunkálás kulcsszót emlegeti, ezek az eljárások egyre inkább az érdeklődés középpontjába kerülnek. Mivel a lézeres strukturálásnál és lézeres leválasztásnál a munkadarabok kis és a legkisebb dimenziókban kerülnek megmunkálásra.
Az eljárás szempontjából a strukturálás és leválasztás nagyon hasonló: a rövid lézerimpulzusok nagy impulzusteljesítménnyel olyan magas energiasűrűséget hoznak létre, hogy az anyag többnyire közvetlenül elpárolog (szublimál). Ennél a folyamatnál csak kevés olvadék keletkezik. Minden lézerimpulzus kis mélyedést hoz létre. Tipikusan néhány 10 mikrométer átmérőjű, és csak néhány mikrométer mély.