Ennél az eljárásnál a lézer elpárologtatja az anyagot, lehetőleg olvadásmentesen. Az anyaggőz magas nyomást hoz létre a vágásrésben, ami lefelé és felfelé nyomja ki az olvadékot.
Az oxigén, argon vagy hélium folyamatgázok csupán a környezettől zárják el a vágási felületet. Ez gondoskodik arról, hogy a vágási élek oxidmentesek maradnak. Ezért elegendő egy 1 – 3 bar értékű gáznyomás.
A fém elpárologtatása több energiát igényel, mint a felolvasztása. Ezért a szublimáló vágásnak magas lézerteljesítményre van szüksége és lassúbb, mint a hagyományos vágási eljárások. Cserébe viszont kivágó minőségű vágóélek jönnek létre.
