Avec ce procédé, le laser vaporise le matériau pratiquement sans fusion. La vapeur de matériau génère dans la fente de coupe une pression élevée qui évacue le produit de la fusion vers le haut et vers le bas.
Le gaz du processus (azote, argon ou hélium) protège uniquement les surfaces de coupe de l'environnement. Il garantit que les arêtes de coupe ne soient pas oxydées. C'est pourquoi une pression de gaz de 1 à 3 bars est suffisante.
Il faut plus d'énergie pour sublimer le métal que pour le faire fondre. C'est pour cette raison que la découpe par sublimation nécessite une puissance laser élevée et qu'elle est plus lente que d'autres procédés de découpe. En contrepartie, elle génère des arêtes de coupe d'excellente qualité.