Le premier choix pour les applications HIPIMS
Les générateurs de la gamme TruPlasma Highpulse Série 4000 (G2) peuvent être utilisés sans modification à la place des générateurs de pulvérisation à courant continu sur des systèmes à magnétron existants. Ils produisent des revêtements de matière dure particulièrement résistants à la corrosion et à l'usure et représentent donc la solution privilégiée pour les applications de pulvérisation avec magnétron à impulsions à forte puissance.
Des puissances crêtes parfaites, pouvant atteindre 4 mégawatts, génèrent des densités de plasma extrêmes avec des flux ioniques élevés.
La facilité d'adaptation aux systèmes de cathodes et aux conditions de processus existants permet une intégration optimale des appareils.
Dernière nouveauté dans le domaine des processus de pulvérisation PVD pulsés, HiPIMS offre des revêtements en matière dure particulièrement résistants à la corrosion et à l'usure.
Utilisable également en mode CC, pas besoin de générateur de courant continu supplémentaire.
Revêtements de matière dure
Les pièces à usiner fortement sollicitées se voient assorties d'une dureté de bord et d'une adhérence augmentées ainsi que d'une meilleure stabilité thermique et chimique par l'ajout d'un revêtement fonctionnel. Les générateurs de la gamme TruPlasma Highpulse Série 4000 (G2) assurent un processus plasma extrêmement stable, et donc une qualité de revêtement excellente.
Semi-conducteurs/photovoltaïque
Les domaines de la photovoltaïque et des semi-conducteurs offrent de nombreux cas d'application pour une énergie de processus sur mesure. Les générateurs de la gamme TruPlasma Highpulse Série 4000 (G2) peuvent être adaptés de manière optimale aux différents processus et autorisent des paramètres de revêtement excellents ainsi qu'une productivité élevée.
Revêtement de verre
Le revêtement de grandes surfaces de verre architectural dans un processus plasma PVD pose des exigences particulièrement élevées en matière d'alimentation électrique. Les générateurs de la gamme TruPlasma Highpulse Série 4000 (G2) offrent des conditions idéales pour un résultat de revêtement de haute qualité.
Résultats de processus optimaux
Des puissances crêtes élevées génèrent un plasma fortement ionisé et rendent possibles des flux ioniques importants. Ces derniers permettent d'obtenir des pellicules très denses et cohérentes, sans gouttelettes. Combinés à des substrats polarisés, les générateurs de la gamme TruPlasma Highpulse Série 4000 (G2) offrent des résultats de haut vol dans les applications de gravure ou de comblement d'interstice.
Gestion d'arc entièrement numérique
Une durée et une fréquence d'impulsion réglables, des paramètres de puissance étendus et la gestion d'arc entièrement numérique avec une énergie d'arc très réduite permettent une pulvérisation sans gouttes, des défauts de pellicule minimes et garantissent des qualités de couche et des vitesses de dépôt élevées.
Des revêtements exceptionnels
Une énergie élevée et des tensions pouvant atteindre 2 kV permettent la réalisation de revêtements de grande qualité, dans les petits laboratoires comme sur de grandes installations industrielles. Les impulsions maximales de 5 ms et les fréquences pouvant atteindre 10 kHz augmentent les vitesses de dépôt et contribuent ainsi à réduire le coût total d'exploitation.
Grande stabilité de processus
La régulation de la puissance avec fonction de réglage de la fréquence permet de conserver des paramètres de dépôt constants, même en cas de processus réactifs exigeants. Les processus conservent ainsi leur stabilité pendant des heures, voire des jours, sans nécessiter d'intervention.
Un module compact
Les générateurs de la gamme TruPlasma Highpulse Série se présentent sous la forme d'un module compact. Ils ne nécessitent pas d'alimentation en courant continu, sont entièrement refroidis par eau et peuvent donc être utilisés en salle blanche.
Diverses options garantissent une adaptation optimale de TruPlasma Highpulse Série 4000 (G2) à votre application.
La gestion d'arc totalement numérique avec une très faible énergie d'arc rend des qualités de revêtement et de taux de croissance élevés.
PVD Power
Le logiciel PVD Power, disponible en plusieurs langues et d'utilisation conviviale, offre de nombreuses possibilités d'utilisation, de configuration et de diagnostic pour une optimisation de la qualité de processus et un dépannage efficace : l'affichage des valeurs réelles de tous les paramètres de processus pertinents ainsi que des avertissements et des messages d'alarme, la prescription des valeurs de consigne par l'opérateur, l'enregistrement et la visualisation de paramètres de fonctionnement importants avec haute résolution temporelle (fonction d'oscilloscope).
Il peut y avoir des différences par rapport à cette gamme de produits et à ces indications dans certains pays. Sous réserve de modification de la technologie, de l’équipement, du prix et de l’offre d’accessoires. Veuillez contacter votre interlocuteur local, afin de savoir si le produit est disponible dans votre pays.
