Neben der Plasmabeschichtung und dem Plasmaätzen gibt es in der industriellen Fertigung weitere Anwendungsbereiche der Plasmatechnik. Dabei wird die Oberfläche des Werkstücks nicht abgetragen oder beschichtet, sondern lediglich modifiziert.
Reinigung:
In der Metallverarbeitung wurden früher die Werkstücke mit FCKW feingereinigt. Eine Alternative dazu ist, die außerordentlich hohe Reaktivität eines im Plasma angeregten Gases für die Oberflächenreinigung zu verwenden. Mit Sauerstoff können z.B. organische Rückstände restlos entfernt werden.
Oberflächenaktivierung:
In einer Plasmabehandlung kann die inerte Oberfläche eines Werkstücks chemisch so modifiziert werden, dass ein Farbauftrag ohne spezielle Grundierung haftet. Dieses Verfahren ist besonders für die vielfältige Gestaltung von Kunststoff-Bauteilen von Bedeutung.
Plasmadiffusion:
Die Oberfläche von Stahl-Werkstücken muss häufig gehärtet oder mit Korrosionsschutz versehen werden. Dies kann im Plasma einfach durch Nitrieren, Borieren oder aufkohlen geschehen.