Plasmatechnik

Plasma ist ein elektrisch leitender ionisierter Zustand eines Gases. Plasmen sind in der Natur z.B. als Polarlichter bekannt. Technisch werden Plasmen mit geeigneten Stromversorgungen oder Generatoren erzeugt. Sie sind in der Lichttechnik in Form von Leuchtstoffröhren weit verbreitet. In der industriellen Fertigung kommt Plasma vor allem in der Oberflächentechnologie zum Einsatz. Mit Plasmantechnologie können Oberflächen auf vielfältige Art beschichtet, veredelt oder überhaupt gestaltet werden. Plasma-Oberflächentechnik wurde als erstes in der Mikroelektronikfertigung eingesetzt, hat inzwischen aber weite Bereiche der industriellen Fertigung durchdrungen. Unabhängig vom gewählten Plasmaverfahren oder Anwendungsgebiet sind spezialisierte Stromversorgungen für den erfolgreichen Betreib der Gasentladung nötig.