Con el plasma acoplado inductivamente (ICP), es posible alcanzar temperaturas de hasta 10.000 °C a presión atmosférica. Es preciso que el gas plasma pase al cuarto estado de la unidad. Para empezar es necesaria una fuente de ignición, térmica o con alta tensión . Esta genera el primer portador de carga libre que después se acelerará en el campo magnético del inductor con un alto voltaje y producirá una ionización en avalancha del gas plasma. Como consecuencia, se origina un plasma conductor de electricidad que puede calentarse de forma inductiva.
Los gases plasma habituales son el argón, el nitrógeno, el hidrógeno y el oxígeno, así como sus combinaciones. Aplicaciones importantes son la esferoidización de las partículas de metal, la activación de la superficie de vidrio, la limpieza (purificación) del fundido de silicio, la fabricación de compuestos de metal y cerámica y la espectroscopia. Los generadores con tecnología de tubo de TRUMPF Hüttinger ofrecen una potencia fiable de hasta 120 kW con frecuencias de 2 -3 MHz para esta aplicación.
