El High Power Seed Module (HPSM) consta de dos láseres de origen que generan impulsos de salida de pocos vatios de potencia, así como de múltiples componentes ópticos activos y pasivos que forman el rayo láser y procuran que la longitud de impulso sea óptima. Con un primer amplificador, la luz se preamplifica a una magnitud de 100 W. Los láseres de origen están perfectamente protegidos contra la retrorreflexión mediante mecanismos de protección, lo que aumenta de forma decisiva la estabilidad del sistema completo y hace que se pueda alcanzar la potencia UVE constante necesaria.

La High Power Amplification Chain (HPAC) está compuesta de cuatro resonadores para el aumento de la potencia conectados entre sí por elementos que guían el rayo. Cada resonador está optimizado para el nivel de amplificación correspondiente (por ejemplo: ventilador, excitación de RF, mezcla de gas, guía del rayo). Los distintos circuitos de refrigeración garantizan que el sistema mantenga la estabilidad necesaria. Las pulsaciones cortas procuran una potencia de salida pico extremadamente alta de la orden de los MW. La metrología en línea exhaustiva proporciona los fundamentos para una medición permanente del rayo.

El Beam Transport System (BTS), compuesto de placa de montaje, periscopio y espejo, transporta el rayo láser hasta 30 metros en la dirección de la cámara de gotas. En esencia, la estabilidad mecánica del sistema bajo la gran carga de potencia y la estanqueidad de la guía del rayo son factores decisivos para una absorción y una contaminación reducidas. Los espejos están recubiertos especialmente para que absorban la menor cantidad posible de luz del láser.

El FFA está compuesto de dos piezas de instalación, una Optics Platform y una Focusing Unit. Para la generación de un flash de plasma ideal, el impulso del láser debe interceptar las gotas de estaño prácticamente en su totalidad. Como las gotas de estaño son más pequeñas que el diámetro del rayo láser, en la Optics Platform se separan un preimpulso y un impulso principal para conformar una generación de UVE óptima. El preimpulso intercepta primero las gotas de estaño con una potencia de impulso reducida, de forma que estas se hinchan en forma de disco y aumentan su superficie. El impulso principal subsiguiente es absorbido por la capa líquida resultante y se crea el propio plasma que genera la radiación UVE. De este modo se aprovechan de forma eficiente los 40 kilovatios de potencia del láser y se garantiza una generación de los flashes de plasma para la exposición con seguridad en el proceso. La Focusing Unit se ocupa de que la luz láser esté óptimamente enfocada en las gotas de estaño.