Generador de plasma resistente y de elevada potencia de estado sólido para las más altas densidades de plasma y los más altos estándares de proceso
Los generadores de la serie TruPlasma MW se basan en la tecnología de estado sólido y consiguen una precisión de frecuencia significativamente mayor que los generadores de microondas basados en magnetrón. El innovador concepto de plataforma puede alcanzar las más altas densidades de plasma e incluso cumple con los estándares de proceso más exigentes de forma eficiente y económica. El diseño modular también permite escalar con precisión la potencia de salida. El suministro de energía se mantiene estable en todo momento sin que se vea afectada la calidad del proceso. En la producción de semiconductores, células solares y pantallas, la serie TruPlasma MW garantiza los mejores resultados y la mayor fiabilidad gracias a sus modernas funciones en el proceso.
La innovadora pulsación en el rango de los nanosegundos permite un mejor control del proceso de plasma.
El ajuste automático de la frecuencia garantiza un resultado óptimo del proceso y una alta reproducibilidad.
En los sistemas multiantena, los distintos generadores pueden funcionar de forma sincronizada y pulsada. Mediante la variación de las referencias de fase entre los generadores individuales, se puede conseguir una homogeneidad del plasma a gran escala.
Confía en la función del generador: incluso en caso de desajuste, la calidad del proceso no se verá afectada.
Benefíciate de una modulación de frecuencia digital de gran precisión que garantiza resultados de proceso reproducibles, la máxima calidad de capa y elevada productividad.
La interfaz digital EtherCat te permite controlar la unidad muy rápidamente en un milisegundo. Esto permite una distribución precisa del plasma.
Producción de células solares
En el campo de la fotovoltaica, se utilizan procesos de plasma como la pulverización catódica o el PECVD para la deposición y eliminación de material. Los generadores de la serie TruPlasma MW pueden adaptarse rápidamente a los distintos procesos y garantizan una alta productividad y unos resultados de proceso de primera clase. Gracias a la dosificación precisa de la energía, se consiguen los mejores resultados incluso en las aplicaciones más modernas y exigentes. Al mismo tiempo, la regulación de potencia de alta precisión permite la mejor repetibilidad wafer-to-wafer.
Producción de semiconductores
Los generadores de plasma se utilizan para una gran variedad de procesos de plasma en la producción de semiconductores, desde la grabación en seco hasta la fundición de zonas en la fabricación de silicio. Nuestra serie TruPlasma MW ofrece fuentes de alimentación eléctrica optimizadas para todos estos procesos.
Revestimiento de pantallas planas
Cuando se trata de recubrir pantallas planas, nuestros generadores TruPlasma MW muestran toda su potencia en procesos de plasma como PECVD, ALD y RIE.
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