La mejor elección para aplicaciones HiPIMS
Los generadores de la TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) pueden utilizarse como alternativa a los generadores de pulverización CC en sistemas de magnetrones, sin necesidad de efectuar modificaciones. Proporcionan recubrimientos con material duro especialmente resistentes a la corrosión y al desgaste, y son la mejor elección para aplicaciones de High Power Impulse Magnetron Sputtering.
Las potencias de cresta perfectas de hasta 4 megavatios generan densidades de plasma extremas con altos flujos de iones.
La adaptación sencilla a los sistemas de cátodos y a los requerimientos de proceso existentes hacen posible una integración óptima de los dispositivos.
Como desarrollo más novedoso de los procesos de pulverización catódica PVD, HiPIMS ofrece recubrimientos con material duro particularmente resistentes a la corrosión y al desgaste.
También aplicable en modo de CC, sin necesidad de un generador de CC adicional.
Recubrimientos con material duro
Con la aplicación de capas funcionales, las piezas de trabajo sometidas a grandes esfuerzos gozan de una mayor resistencia en los cantos y fricción estática, así como una mejor estabilidad térmica y química. Los generadores de la TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) garantizan un proceso de plasma extraordinariamente estable y, con ello, una calidad de capa excelente.
Industria fotovoltaica/semiconductores
En el sector de la fotovoltaica y los semiconductores, existen numerosos campos de aplicación para la energía de proceso a medida. Los generadores de la TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) pueden adaptarse de forma óptima a cada proceso y hacen posibles unos parámetros de recubrimiento excelentes y una alta productividad.
Recubrimientos de vidrio
Los recubrimientos de grandes superficies de vidrio arquitectónico en un proceso de plasma PVD plantean exigencias verdaderamente altas a la corriente de alimentación del proceso. Los generadores de la TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) ofrecen los requisitos previos ideales para un resultado de recubrimiento de gran calidad.
Resultados de proceso óptimos
Las altas potencias de cresta generan plasma altamente ionizado y permiten altos flujos de iones. Esto permite obtener películas muy coherentes y densas sin gotitas. En combinación con configuraciones de sustratos polarizadas, los generadores de la TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) ofrecen resultados superiores en aplicaciones de decapado y llenado de surcos.
Gestión de arco íntegramente digital
La posibilidad de ajustar la frecuencia y la longitud de impulso, los parámetros de potencia ampliados y la gestión de arco íntegramente digital con energía de arco muy reducida posibilitan una pulverización sin gotas, minimizan los defectos en la película y garantizan calidades de capa y tasas de deposición elevadas.
Revestimientos excelentes
La alta energía y los altos voltajes de hasta 2 kV permiten la producción de recubrimientos de alta calidad, tanto en pequeños laboratorios como en grandes instalaciones industriales. Los impulsos de hasta 5 ms y las frecuencias de hasta 10 kHz aumentan la velocidad de deposición y ayudan a reducir los costes de servicio totales.
Alta estabilidad de los procesos
El control de potencia con frecuencia ajustable garantiza que los parámetros de deposición permanezcan constantes incluso en procesos reactivos exigentes. De esta manera, los procesos permanecen estables durante horas y días sin que sea necesaria ninguna intervención.
Una unidad compacta
Los generadores de la TruPlasma Highpulse Serie son una unidad de tamaño compacto. No necesitan una fuente de alimentación externa de CC, están completamente refrigerados por agua y permiten trabajar en una sala blanca.
Diversas opciones le garantizan la adaptación perfecta de la TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) a su aplicación.
La gestión de arco íntegramente digital con energía de arco muy reducida posibilita calidades de capa y tasas de deposición elevadas.
PVD Power
El software multilingüe de fácil manejo PVD Power le ofrece múltiples posibilidades de manejo, configuración y diagnóstico para la optimización de la calidad del proceso y la subsanación eficaz de errores: visualización de los valores reales de todos los parámetros de proceso importantes, así como las advertencias y mensajes de alarma, predeterminación de los valores nominales por parte del operario y el registro y la visualización de importantes parámetros de funcionamiento con una alta solución temporal (función de osciloscopio).
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