Der luftgekühlte HF-Generator TruPlasma RF 1001 Air liefert bis zu 1000 Watt hochgenaue, reproduzierbare HF-Energie mit extrem feiner Auflösung – in 100-mW-Schritten – und ist damit für unterschiedlichste Plasma-Anwendungen geeignet. Ob bei der Herstellung von Halbleitern, Solarzellen oder Displays – die patentierte TRUMPF Hüttinger Technology garantiert überall höchste Zuverlässigkeit und beste Prozessergebnisse dank moderner Prozessfunktionen.
Garantiert eine optimale und sehr schnelle Frequenzan- passung und damit ein optimales Zusammenspiel zwischen Generator und Matchbox.
Sichere Führung von anspruchsvollen und neuartigen Prozessen garantiert den Schutz Ihres Produktes.
Mehrstufige, flexible Steuerung der Pulsform für bessere Prozessergebnisse in modernen Plasmaprozessen.
Flexibler Einsatz und Austausch der Generatoren bei Prozessänderungen oder Retrofit möglich.
Die patentierte CombineLine-Technologie garantiert eine gleichmäßige Prozessleistung dank echter 50-Ohm-Ausgangsimpedanz.
Mit unterschiedlichen Leistungsklassen innerhalb der HF-Produktfamilie lassen sich sämtliche Prozessan- forderungen abdecken.
Bei Prozessänderungen oder Änderungen am System ist keine Kabellängenanpassung mehr notwendig.
Die HF-Generatoren der TruPlasma RF Air Serie 1000 eignen sich ideal für Plasmaprozesse wie RIE, ALD, PECVD und RF-Sputtern. Diese Verfahren kommen unter anderem bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen und mikromechanischen Systemen (MEMS) sowie bei der Beschichtung von Flachbildschirmen und Solarzellen zur Anwendung.
Typische Anwendungsgebiete der TruPlasma RF Air Serie 1000 sind anspruchsvolle PECVD-, Ätz- und HF-Sputterprozesse in der Solarindustrie.
Bei der Herstellung von Halbleitern kommen unterschiedliche Plasmaprozesse zum Einsatz, von Abtragungsprozessen durch Trockenätzen bis zum Zonenziehen bei der Herstellung von Reinsilizium. Die Generatoren der TruPlasma RF Air Serie 1000 bieten alle Voraussetzungen für eine stabile und optimal an den jeweiligen Prozess angepasste Stromversorgung, sodass Sie exzellente, reproduzierbare Ergebnisse erzielen.
Höchste Produktivität und Verfügbarkeit
Das flexible, robuste Design der HF-Generatoren ermöglicht eine Steigerung des Durchsatzes und eine Reduktion der Betriebskosten.
Stabile Prozesse, reproduzierbare Ergebnisse
Die patentierte CombineLine-Technologie mit intelligentem Echtzeit-Matching garantiert eine optimale Verfügbarkeit des TruPlasma RF 1001 Air und verhindert zuverlässig Plasmaschwankungen und Verunreinigungen.
Kompakt und flexibel einsetzbar
Dank der kompakten Bauweise (½-19-Zoll-Einschub) ist der HF-Generator sehr platzsparend - ideal geeignet bei Neuinstallationen und als Retrofitlösung in bestehenden Anlagen. Die Integration ist dank der zahlreichen verfügbaren Schnittstellen (konfigurierbare Analogschnittstelle, EtherNet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) sehr einfach.
Auf die Nachkommastelle genau
Dank der präzisen Energiedosierung in 100-mW-Schritten lassen sich mit dem TruPlasma RF 1001 Air auch in modernsten, anspruchsvollsten Anwendungen wie ALD beste Ergebnisse erzielen. Die hochpräzise Leistungsregelung des HF-Generators garantiert beste Wafer-to-Wafer-Wiederholbarkeit.
Beste Prozessergebnisse dank moderner Prozessfunktionen
Digitale Steuerungsfunktionen wie Smart Auto Frequency Tuning 2.0, Arc-Management und Multi-Level Pulsing ermöglichen eine optimale Anpassung des HF-Generators an den jeweiligen Prozess.
Flexible Anpassung an die Kundenanwendung
Es sind unterschiedliche Leistungsklassen und Frequenzen im einheitlichen Generatordesign verfügbar, daher ist ein einfacher Austausch bei Prozessänderungen möglich. Auch eine Kabellängenanpassung ist nicht mehr erforderlich.
Steuerung des kompletten HF-Systems über den TRUMPF SystemPort
Der SystemPort ermöglicht einen geschlossenen Regelkreislauf durch das Messen des RF-Signals direkt am Ein- und Ausgang der Matchbox sodass dem HF-Generator stets sämtliche Messwerte zur Verfügung stehen. Die Prozessparameter werden kontinuierlich überwacht, die Matchbox geschützt und eine frühzeitige Arc-Erkennung gewährleistet.
Das patentierte Auto Freuquency Tuning ermöglicht eine simultane und schnelle Frequenzanpassung zwischen Generator und Matchbox. Beste Prozessergebnisse und höchste Reproduzierbarkeit sind somit garantiert.
Das durchdachte Arc-Management gewährleistet eine optimale Kontrolle des Plasmaprozesses. Durch gezielte Arc Erkennung wird die Produktivität gesteigert, zugleich werden Produkt und Anlage vor Schäden geschützt.
Neueste Plasmaprozesse benötigen mehr Flexibilität beim Pulsbetrieb. Jede Art von Pulsform kann mit dem mehrstufigen, frei wählbaren Pulsbetrieb erreicht werden. Dies führt zu einem neuen Steuerungsmechanismus in der Plasmaphysik und zu besseren Prozessergebnissen.
Das Synchronisationsmodul ermöglicht die flexible und sicherere Synchronisation mehrerer Generatoren in komplexen Plasmasystemen.
TruControl Power
Die anwendungsfreundliche Steuerungssoftware ermöglicht eine komfortable Inbetriebnahme und sichere Überwachung des HF-Generators bzw. des gesamten TRUMPF RF-Systems im laufenden Prozess.
Web-GUI
Der integrierte Webserver ermöglicht sowohl den Betrieb des HF-Systems als auch Softwareupdates über einen Webbrowser.
Je nach Land sind Abweichungen von diesem Produktsortiment und von diesen Angaben möglich. Änderungen in Technik, Ausstattung, Preis und Zubehörangebot sind vorbehalten. Bitte setzen Sie sich mit Ihrem Ansprechpartner vor Ort in Verbindung, um zu erfahren, ob das Produkt in Ihrem Land verfügbar ist.
