TruPlasma RF 1000 Air Serie

El diseño flexible y robusto de los generadores de AF permite un aumento del rendimiento y una reducción de los costes de servicio.

La tecnología patentada CombineLine con adaptación inteligente en tiempo real garantiza una disponibilidad óptima del TruPlasma RF 1001 Air y evita de forma fiable fluctuaciones del plasma y contaminaciones.

Gracias a su diseño compacto (unidad insertable de ½-19 pulgadas), el generador de AF ocupa un espacio muy reducido, ideal para nuevas instalaciones y como solución de reequipamiento en instalaciones ya existentes. La integración es muy sencilla gracias a su gran número de interfaces disponibles (interfaz analógica configurable, Ethernet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT).

Gracias a su dosificación de energía precisa en saltos de 100 mW, con el TruPlasma RF 1001 Air también es posible conseguir los mejores resultados en las aplicaciones más modernas y exigentes, como el ALD. La regulación de potencia de alta precisión del generador de AF garantiza la mejor repetibilidad wafer-to-wafer.

Las funciones de mando digitales, tales como el Smart Auto Frequency Tuning 2.0, la gestión de arco y el Multi-Level Pulsing, permiten una adaptación óptima del generador de AF al proceso correspondiente.

Disponemos de diferentes clases de potencia y frecuencias dentro de un diseño de generador unitario, lo que hace posible un cambio sencillo en caso de modificaciones del proceso. Ya no es necesario realizar adaptaciones de la longitud del cable.

El SystemPort posibilita un circuito regulador cerrado mediante la medición de la señal RF directamente en la entrada y la salida de la matchbox, de modo que el generador de AF siempre dispone de todos los valores de medición. Los parámetros de proceso se supervisan continuamente, se protege la matchbox y se garantiza una detección de arco temprana.