Souveränes Handling von anspruchsvollen Prozessen
Die TruPlasma DC Serie 4000 (G2) wurde speziell für das reaktive DC-Sputtern mit schwierigen Materialien entwickelt. Die mit gepulstem Gleichstrom arbeitenden Generatoren bewähren sich insbesondere in kritischen PVD- und PECVD-Prozessen, bei denen zugleich höchste Schichtqualität und Produktivität verlangt werden. Die kompakten DC-Prozessstromversorgungen sind sowohl im gepulsten als auch im Bias-Betrieb einsetzbar – sozusagen zwei Geräte in einem Gehäuse!
Hohe Schichtqualität und Produktivität
Digitale Signalverarbeitung garantiert stabile Prozesse und minimale Arc-bedingte Zeitverluste.
Beste Ergebnisse auch in kritischen Prozessen
Schnelle Arc-Behandlung in Kombination mit DC-Pulstechnologie minimiert Substratschädigungen.
Einfache Prozessanpassung
Dank breitem Frequenzspektrum und anpassbarer Reverse-Voltage.
Kompakte und robuste Bauweise
Die integrierte Wasserkühlung spart Platz und reduziert den Wartungsaufwand.
Je nach Land sind Abweichungen von diesem Produktsortiment und von diesen Angaben möglich. Änderungen in Technik, Ausstattung, Preis und Zubehörangebot sind vorbehalten. Bitte setzen Sie sich mit Ihrem Ansprechpartner vor Ort in Verbindung, um zu erfahren, ob das Produkt in Ihrem Land verfügbar ist.
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Flyer TruPlasma DC Serie 4000 (G2)
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