Mikrobearbeitung

Strukturieren

Strukturieren bedeutet, regelmäßig angeordnete Geometrien in Oberflächen zu erzeugen, die deren technische Eigenschaften gezielt verändern. Das einzelne Element einer solchen Struktur ist oft nur einige Mikrometer groß.

Laserabtragen

Abtragen wird meist im Werkzeug- und Formenbau sowie in der Elektronik und Halbleitertechnik angewendet. Der Laser erzeugt zum Beispiel in Spritzgusswerkzeugen dreidimensionale, detailreiche Vertiefungen, deren Formen sich später beim Spritzgießen im Kunststoffteil abbilden. Der Laser kann aber auch dünne Schichten selektiv abtragen, etwa zum Trimmen von Widerständen oder zum Beschriften.

Bohren

Unterschied zwischen Perkussions-, Trepanier- und Helixbohren: Beim Perkussieren bleibt der Fokus des Lasers ortsfest. Wird durch mehrere Laserpulse ein Startloch gebohrt und bewegt sich der Fokus des Lasers anschließend kreisförmig in der Bohrung um diese zu erweitern, spricht man vom Trepanieren. Beim Helixbohren arbeiten sich viele Laserpulse kreisförmig - wie auf einer Wendeltreppe - in die Tiefe vor.