Epitaxie

Epitaxie ist ein Prozess, bei dem einkristalline Schichten, z.B. aus Silizium, auf einkristallinen Substraten gleichen Materials erzeugt werden. Die Substrate befinden sich auf einem induktiv beheizten Suszeptor aus Graphit - wobei sehr hohe Anforderungen an die Temperaturhomogenität gestellt werden. Epitaxie wird unter anderem bei der Herstellung von LEDs eingesetzt. TRUMPF Hüttinger Mittelfrequenz-Generatoren liefern die notwendige Prozessenergie zuverlässig und stabil.