Inovativní, modulární, škálovatelný: nová platforma generátoru od TRUMPF Hüttinger
Generátory TruPlasma VHF série 3000 jsou založeny na inovativním konceptu platformy, který umožňuje nejvyšší hustoty výkonu a splňuje nejnáročnější procesní požadavky. Modulární a pouze vodou chlazená konstrukce umožňuje škálování výstupního výkonu až do 80 kW. Kromě toho přesvědčí kompaktní VHF generátory vysokou úsporou nákladů a robustním designem.
Navíc ke stávajícímu jednoduchému a několikaúrovňovému tvarování impulzu nabízí maximální kontrolu plazmového procesu.
Díky tomu je možné velmi flexibilní řízení chování generátoru při zapalování.
Automatické přizpůsobení frekvence pro optimální souhru generátoru a matchboxu.
Vynikající, opakovatelné výsledky procesu díky vysoce přesné digitální frekvenční modulaci.
Žádná nutnost přizpůsobení délky VF kabelu při procesních změnách, z toho plynou krátké doby přípravy stroje.
Spolehlivá funkce generátoru i při chybném přizpůsobení díky technologii CombineLine.
Výroba solárních článků
Ve fotovoltaice jsou četné oblasti použití pro procesní energii střiženou na míru. Zde se používají různé plazmové procesy pro nanášení a odstraňování materiálu, např. procesy naprašování, PECVD a leptání. Generátory TruPlasma VHF série 3000 lze optimálně přizpůsobit příslušnému procesu, přičemž rychlá správa elektrického oblouku umožňuje stabilní ovládání plazmatu. Tím jsou zaručeny vynikající výsledky procesu a vysoká produktivita.
Polovodičová výroba
Při výrobě polovodičů se používají různé plazmové procesy, od procesů odstraňování pomocí suchého leptání až po proces tavby letmou zónou při výrobě nejčistšího křemíku. Generátory TruPlasma VHF série 3000 nabízí všechny předpoklady pro stabilní elektrické napájení optimálně přizpůsobené příslušnému procesu, takže dosahujete vynikajících, opakovatelných výsledků.
Ideální pro povlakování plochých obrazovek
Vysokofrekvenční generátory TruPlasma VHF série RF 3000 se ideálně hodí pro plazmové procesy jako RIE, ALD, PECVD a vysokofrekvenční naprašování (RF sputtering). Tyto metody se používají mimo jiné při výrobě konstrukčních prvků polovodičů a mikromechanických systémů (MEMS) i při povlakování plochých obrazovek a solárních článků.
Flexibilní přizpůsobení procesu
Modulární koncept platformy TruPlasma VHF série 3000 umožňuje škálování výstupního vedení až do 80 kW. Díky implementované technologii CombineLine se generátor chová i při chybném přizpůsobení velmi robustně. Jeho široké frekvenční pásmo i variabilní síťové napětí a délka kabelu dovolují flexibilní přizpůsobení různým aplikacím a zemím použití.
Maximální efektivita a úspora nákladů
Vysokofrekvenční generátory TruPlasma VHF série 3000 jsou kompletně konstruovány v nejmodernější polovodičové technice s výkonovými tranzistory LDMOS. Vysoce integrovaná planární konstrukční technika umožňuje maximální hustoty výkonu při současně vysoké energetické efektivitě a odpovídajícím způsobem sníženému chladicímu výkonu. Proto tato řada nabízí úsporu nákladů, které nebylo v tomto frekvenčním pásmu dosud dosaženo a snižuje běžné provozní náklady na trhu.
TRUMPF SystemPort
SystemPort umožňuje uzavřený regulovaný oběh pomocí měření RF signálu přímo na vstupu a výstupu matchboxu. RF generátor má k dispozici veškeré naměřené hodnoty. Díky tomu lze lépe monitorovat procesní parametry, chránit matchbox a zaručit včasnou identifikaci elektrického oblouku. Kompletní RF systém lze řídit pomocí jednoho generátorového rozhraní.
Různé možnosti umožňují optimální přizpůsobení VHF generátoru vaší aplikaci.
Promyšlená správa elektrického oblouku je ideálním modulem pro optimální kontrolu plazmového procesu. Cílená identifikace elektrického oblouku zaručuje maximální produktivitu a zároveň chrání výrobek a vaše zařízení.
Flexibilní tvarování impulzu: tvar výstupního signálu lze libovolně přizpůsobit příslušným procesním požadavkům.
Patentované řešení Auto Frequency Tuning umožňuje simultánní a rychlé přizpůsobení frekvence a zaručuje optimální souhru generátoru a matchboxu. Pomocí této patentované techniky není lokální minimum již žádnou překážkou: RF systém je doveden do optimálního stavu a proto umožňuje ty nejlepší procesní výsledky a vysokou opakovatelnost.
TruControl Power
Uživatelsky přívětivý řídicí software TruControl Power umožňuje pohodlné uvedení do provozu a bezpečnou kontrolu vysokofrekvenčního generátoru, příp. celého TRUMPF RF systému za provozu.
Výběrem vhodných systémových komponent můžete VHF generátor optimálně přizpůsobit požadavkům své aplikace.
Dokonalá souhra: TRUMPF RF systém
Plazmové procesy se chovají jako komplexní, proměnlivé zatížení, ke kterému je nutné generátorem neustále dovádět elektrické napájení. To činí aktivní přizpůsobovací sítě, tzv. matchboxy, které zajišťují vždy přesné přizpůsobení optimální impedanci 50 ohmů. Tak vzniká dokonale přizpůsobené systémové řešení, systém TRUMPF RF. Pomocí různých rozhraní, mj. EtherCAT, můžete generátor a matchbox velmi jednoduše integrovat do svého stávajícího procesního prostředí a díky inteligentnímu spojení matchboxu a generátoru, tak zvaného SystemPort, dosáhnout optimalizovaného systémového řešení.
V závislosti na zemi se může tento produktový sortiment a tyto údaje lišit. Změny techniky, vybavení, cena a nabídka příslušenství jsou vyhrazeny. Pro zjištění dostupnosti výrobku ve vaší zemi prosím kontaktujte svoji kontaktní osobu.
