Výběr země / regionu a jazyka
Excitace plazmy

TruPlasma RF série 3000

VF technologie bez kompromisů

Záruka vynikajících výsledků procesu

S těmito vysokofrekvenčními generátory vsadíte na jistotu: TruPlasma RF série 3000 se vyznačuje robustní konstrukcí a vysokou efektivitou. Tím se nejlépe hodí pro stabilní, opakovatelné plazmové procesy, které se používají např. při výrobě plochých obrazovek, solárních článků nebo polovodičů. Tyto generátory jsou instalovány v tisících aplikacích po celém světě a zaručují vysokou produktivitu a vynikající výsledky procesu.

Efektivita a úspora nákladů

Účinnost až 80 % umožňuje redukování nákladů na energii až o 50 %.

Vynikající RF správa elektrického oblouku

Bezpečné vedení i náročných a nových procesů.

Vysoká robustnost a procesní stabilita

Technologie CombineLine: spolehlivá ochrana proti odraženým výkonům při chybném přizpůsobení.

Maximální flexibilita

Stálý nebo pulzní dodávaný výkon, z čehož plyne velmi mnohostranná použitelnost.

Procesy leptání a nanášení

Vysokofrekvenční generátory TruPlasma RF série 3000 se hodí zejména pro procesy leptání a povrstvení, např. plazmové leptání, reaktivní iontové leptání, ALC a PECVD.

Povlakování kovového materiálu

Pomocí plazmových procesů je možné materiál na povrchy nanášet, ale i ho z nich odstraňovat, například při povlakování kovových obrobků ochrannou vrstvou proti opotřebení nebo při strukturování elektronických konstrukčních prvků pomocí plazmového leptání nebo plazmového spalování fotocitlivého materiálu.

Povlakování plochých obrazovek a solárních článků

Vysokofrekvenční generátory TruPlasma série RF 3000 se ideálně hodí pro plazmové procesy jako RIE, ALD, PECVD a vysokofrekvenční naprašování (RF sputtering). Tyto metody se používají mimo jiné při povlakování plochých obrazovek a solárních článků.

Maximální efektivita a procesní stabilita

Snížením ztrátového výkonu na polovinu a snížením nákladů na chladicí vodu díky vynikající účinnosti minimalizujete provozní náklady. Velmi robustní konstrukce generátorů dovoluje delší provozní doby i u kritických procesů a tím vyšší rychlosti povlakování. Výkyvům plazmatu účinně zabraňuje technologie CombineLine se skutečnou 50ohmovou výstupní impedancí, čímž jsou umožněny naprosto stabilní procesy.

Bezpečnost za všech okolností

Robustní konstrukce zajišťuje maximální spolehlivost a produktivitu vašeho procesu. 100% ochrana proti chybnému přizpůsobení zaručuje bezpečný provoz i při kritickém zatížení. Dle volitelné možnosti stálý nebo pulzní dodávaný výkon podporuje široké pásmo procesních požadavků. Po celém světě je instalováno již více než 20 000 jednotek, více než jakéhokoliv jiného plazmového elektrického napájení.

TRUMPF SystemPort

SystemPort umožňuje uzavřený regulovaný oběh pomocí měření RF signálu přímo na vstupu a výstupu matchboxu. RF generátor má k dispozici veškeré naměřené hodnoty. Díky tomu lze lépe monitorovat procesní parametry, chránit matchbox a zaručit včasnou identifikaci elektrického oblouku. Kompletní RF systém lze řídit pomocí jednoho generátorového rozhraní.

Různé možnosti umožňují optimální přizpůsobení vysokofrekvenčního generátoru vaší aplikaci.

Správa elektrického oblouku

Promyšlená správa elektrického oblouku je ideálním modulem pro optimální kontrolu plazmového procesu. Cílená identifikace elektrického oblouku zaručuje maximální produktivitu a zároveň chrání výrobek a zařízení.

TruControl Power

Uživatelsky přívětivý řídicí software TruControl Power umožňuje pohodlné uvedení do provozu a bezpečnou kontrolu vysokofrekvenčního generátoru, příp. celého TRUMPF RF systému za provozu.

Všechny komponenty TRUMPF RF systému jsou optimálně navzájem přizpůsobeny.

TruPlasma Match série 1000 (G2/13)
Přizpůsobovací sítě TruPlasma Match zajišťují optimální přenos výkonu od generátoru do plazmového výboje. Provoz matchboxu může probíhat samostatně nebo přes inteligentní spojení generátoru a matchboxu, tak zvaný SystemPort.
Master oscilátory
Pomocí master oscilátorů je možné stabilizovat a optimalizovat kritické synchronní plazmové procesy. Integrovaný digitální frekvenční a fázový syntetizátor zajišťuje vysokou frekvenční a fázovou stabilitu a umožňuje nastavení fázové polohy s velmi malou velikostí kroku. Lze vybrat různá provedení master oscilátorů pro frekvenci 13,56 MHz a různé kombinace frekvencí.
VF přepínač
VF přepínač dovoluje vícenásobné použití vysokofrekvenčního generátoru na různých plazmových procesních stanicích, například pro elektrické napájení postupných procesů nebo v systémech s různými napájecími body. K dispozici jsou různé VF přepínače ve dvou výkonových třídách a s 2, 3 nebo 4 výstupy.
Koaxiální kabely
Pro přenos vysokofrekvenčního výkonu nabízí TRUMPF Hüttinger koaxiální kabely, které jsou speciálně vytvořeny pro provoz v 50ohmových systémech.

Dokonalá souhra: generátor a matchbox

Plazmové procesy se chovají jako komplexní, proměnlivé zatížení, ke kterému je nutné generátorem neustále dovádět elektrické napájení. To činí aktivní přizpůsobovací sítě, tzv. matchboxy, které zajišťují vždy přesné přizpůsobení optimální impedanci 50 ohmů. Tak vzniká dokonale přizpůsobené systémové řešení, systém TRUMPF RF. Pomocí různých rozhraní, mj. EtherCAT, můžete generátor a matchbox velmi jednoduše integrovat do svého stávajícího procesního prostředí a díky inteligentnímu spojení matchboxu a generátoru, tak zvaného SystemPort, dosáhnout optimalizovaného systémového řešení.

V závislosti na zemi se může tento produktový sortiment a tyto údaje lišit. Změny techniky, vybavení, cena a nabídka příslušenství jsou vyhrazeny. Pro zjištění dostupnosti výrobku ve vaší zemi prosím kontaktujte svoji kontaktní osobu.

Také by vás mohla zajímat tato témata

TRUMPF Hüttinger Worldwide
Váš kontakt u společnosti TRUMPF Hüttinger

Zajímáte se o nějaký produkt nebo potřebujete poradenství? Zde naleznete Vaše kontaktní osoby na celém světě.

Jsme tady pro vás po celých čtyřiadvacet hodin

Our IoT Services will help to maximize your up-time and makes service support even more preventative and projectable.

VHF Generator Serie 3000
Vysoká úspora nákladů v robustním designu

Inovativní, modulární, škálovatelný: nové kompaktní generátory VHF společnosti TRUMPF Hüttinger přesvědčí vysokou úsporou nákladů a robustním designem.

Kontakt
Ehab Alhawari
Sales TRUMPF Hüttinger
E-mail
Servis
Servisní smlouvy Další podrobnosti Technický zákaznický servis Další podrobnosti Školení Další podrobnosti Originální díly Další podrobnosti
Stažení
Servis a kontakt