Záruka vynikajících výsledků procesu
S těmito vysokofrekvenčními generátory vsadíte na jistotu: TruPlasma RF série 3000 se vyznačuje robustní konstrukcí a vysokou efektivitou. Tím se nejlépe hodí pro stabilní, opakovatelné plazmové procesy, které se používají např. při výrobě plochých obrazovek, solárních článků nebo polovodičů. Tyto generátory jsou instalovány v tisících aplikacích po celém světě a zaručují vysokou produktivitu a vynikající výsledky procesu.
Účinnost až 80 % umožňuje redukování nákladů na energii až o 50 %.
Bezpečné vedení i náročných a nových procesů.
Technologie CombineLine: spolehlivá ochrana proti odraženým výkonům při chybném přizpůsobení.
Stálý nebo pulzní dodávaný výkon, z čehož plyne velmi mnohostranná použitelnost.
Procesy leptání a nanášení
Vysokofrekvenční generátory TruPlasma RF série 3000 se hodí zejména pro procesy leptání a povrstvení, např. plazmové leptání, reaktivní iontové leptání, ALC a PECVD.
Povlakování kovového materiálu
Pomocí plazmových procesů je možné materiál na povrchy nanášet, ale i ho z nich odstraňovat, například při povlakování kovových obrobků ochrannou vrstvou proti opotřebení nebo při strukturování elektronických konstrukčních prvků pomocí plazmového leptání nebo plazmového spalování fotocitlivého materiálu.
Povlakování plochých obrazovek a solárních článků
Vysokofrekvenční generátory TruPlasma série RF 3000 se ideálně hodí pro plazmové procesy jako RIE, ALD, PECVD a vysokofrekvenční naprašování (RF sputtering). Tyto metody se používají mimo jiné při povlakování plochých obrazovek a solárních článků.
Maximální efektivita a procesní stabilita
Snížením ztrátového výkonu na polovinu a snížením nákladů na chladicí vodu díky vynikající účinnosti minimalizujete provozní náklady. Velmi robustní konstrukce generátorů dovoluje delší provozní doby i u kritických procesů a tím vyšší rychlosti povlakování. Výkyvům plazmatu účinně zabraňuje technologie CombineLine se skutečnou 50ohmovou výstupní impedancí, čímž jsou umožněny naprosto stabilní procesy.
Bezpečnost za všech okolností
Robustní konstrukce zajišťuje maximální spolehlivost a produktivitu vašeho procesu. 100% ochrana proti chybnému přizpůsobení zaručuje bezpečný provoz i při kritickém zatížení. Dle volitelné možnosti stálý nebo pulzní dodávaný výkon podporuje široké pásmo procesních požadavků. Po celém světě je instalováno již více než 20 000 jednotek, více než jakéhokoliv jiného plazmového elektrického napájení.
TRUMPF SystemPort
SystemPort umožňuje uzavřený regulovaný oběh pomocí měření RF signálu přímo na vstupu a výstupu matchboxu. RF generátor má k dispozici veškeré naměřené hodnoty. Díky tomu lze lépe monitorovat procesní parametry, chránit matchbox a zaručit včasnou identifikaci elektrického oblouku. Kompletní RF systém lze řídit pomocí jednoho generátorového rozhraní.
Různé možnosti umožňují optimální přizpůsobení vysokofrekvenčního generátoru vaší aplikaci.
Promyšlená správa elektrického oblouku je ideálním modulem pro optimální kontrolu plazmového procesu. Cílená identifikace elektrického oblouku zaručuje maximální produktivitu a zároveň chrání výrobek a zařízení.
TruControl Power
Uživatelsky přívětivý řídicí software TruControl Power umožňuje pohodlné uvedení do provozu a bezpečnou kontrolu vysokofrekvenčního generátoru, příp. celého TRUMPF RF systému za provozu.
Všechny komponenty TRUMPF RF systému jsou optimálně navzájem přizpůsobeny.
Přizpůsobovací sítě TruPlasma Match zajišťují optimální přenos výkonu od generátoru do plazmového výboje. Provoz matchboxu může probíhat samostatně nebo přes inteligentní spojení generátoru a matchboxu, tak zvaný SystemPort.
Pomocí master oscilátorů je možné stabilizovat a optimalizovat kritické synchronní plazmové procesy. Integrovaný digitální frekvenční a fázový syntetizátor zajišťuje vysokou frekvenční a fázovou stabilitu a umožňuje nastavení fázové polohy s velmi malou velikostí kroku. Lze vybrat různá provedení master oscilátorů pro frekvenci 13,56 MHz a různé kombinace frekvencí.
VF přepínač dovoluje vícenásobné použití vysokofrekvenčního generátoru na různých plazmových procesních stanicích, například pro elektrické napájení postupných procesů nebo v systémech s různými napájecími body. K dispozici jsou různé VF přepínače ve dvou výkonových třídách a s 2, 3 nebo 4 výstupy.
Pro přenos vysokofrekvenčního výkonu nabízí TRUMPF Hüttinger koaxiální kabely, které jsou speciálně vytvořeny pro provoz v 50ohmových systémech.
Dokonalá souhra: generátor a matchbox
Plazmové procesy se chovají jako komplexní, variabilní zátěž, které musí být generátorem kontinuálně přiváděno napájení proudem. To poskytují aktivní přizpůsobovací sítě, takzvané přizpůsobovací sítě, které vždy zajišťují přizpůsobení optimální impedanci 50 ohmů. Tak vzniká perfektně vzájemně sladěné systémové řešení, RF systém TRUMPF. Přes různá rozhraní, m.j. EtherCAT, můžete generátor a přizpůsobovací síť velmi jednoduše integrovat do Vašeho stávajícího procesního prostředí a pomocí inteligentního spojení generátoru a přizpůsobovací sítě, takzvaného SystemPort, dosáhnout optimalizovaného systémového řešení.
V závislosti na zemi se může tento produktový sortiment a tyto údaje lišit. Změny techniky, vybavení, cena a nabídka příslušenství jsou vyhrazeny. Pro zjištění dostupnosti výrobku ve vaší zemi prosím kontaktujte svoji kontaktní osobu.
