Excitace plazmy

TruPlasma RF série 1000 / 3000 (G2/13)

Stabilní procesy pro maximální produktivitu

Zavřít

Přehled

Použití

Přínos pro zákazníka

Možnosti

Systémové komponenty

RF systém

Vysokofrekvenční generátory nové generace

Při povlakování nebo strukturování povrchů je rozhodující stabilní a opakovatelné napájení plazmatu proudem. Nejlepší předpoklady k tomu poskytují vysokofrekvenční generátory TruPlasma RF série 1000 / 3000 (G2/13) vybavené moderní výkonovou elektronikou: díky svému stabilnímu výstupnímu výkonu a vysoké přesnosti regulace zajišťují nejlepší výsledky při současně vysoké produktivitě.

Vysoká přesnost a opakovatelnost

Technologie CombineLine: optimální procesní výkon díky skutečné výstupní impedanci 50 ohmů.

Nezávislost na délce vysokofrekvenčního kabelu

Jako absolutní novinka v oblasti vysokofrekvenčních zařízení odpadá nutnost úpravy délky kabelů!

Robustnost a bezpečnost

Technologie CombineLine: spolehlivá ochrana proti odraženému výkonu při chybném přizpůsobení.

Efektivita a úspora nákladů

Účinnost až 80 % umožňuje redukování nákladů na energii až o 50 %.

Koncept chlazení bez ventilátoru

Žádné zahřátí nebo znečištění okolního vzduchu, proto je možný provoz v čistém prostoru.

Ideální pro povlakování plochých obrazovek

Vysokofrekvenční generátory TruPlasma série RF 1000 / 3000 (G2/13) se ideálně hodí pro plazmové procesy jako RIE, ALD, PECVD a vysokofrekvenční naprašování (RF sputtering). Tyto metody se používají mimo jiné při výrobě konstrukčních prvků polovodičů a mikromechanických systémů (MEMS) i při povlakování plochých obrazovek a solárních článků.

Typická oblast použití: solární průmysl

Typické oblasti použití TruPlasma RF série 1000 / 3000 (G2/13) jsou náročné procesy PECVD, leptání a vysokofrekvenční procesy naprašování vrstev v solárním průmyslu.

Polovodičová výroba

Při výrobě polovodičů se používají různé plazmové procesy, od procesů odstraňování pomocí suchého leptání až po proces tavby letmou zónou při výrobě nejčistšího křemíku. Generátory TruPlasma RF série 1000 / 3000 (G2/13) nabízí všechny předpoklady pro stabilní elektrické napájení optimálně přizpůsobené příslušnému procesu, takže dosahujete vynikajících, opakovatelných výsledků.

Optimální přizpůsobení vašemu procesu

Inteligentní přizpůsobení reálnému času TruPlasma RF série 1000 / 3000 (G2/13) zajišťuje rychlé a přímé přizpůsobení impedance 50 ohmům. Výkyvům plazmatu a znečištění spolehlivě zabraňuje patentovaná technologie CombineLine, koncept chlazení bez ventilátoru snižuje četnost poruch, zvyšuje efektivitu a umožňuje použití v čistém prostoru.

Maximální efektivita a flexibilita

Díky maximální účinnosti až 80 % snížíte náklady na energii ve srovnání s obvyklými generátory až o 50 %. Četná dostupná rozhraní (konfigurovatelné analogové rozhraní RS 232/485, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) zjednodušují integraci do stávajících zařízení, technické přizpůsobení není díky integrovaným síťovým dílům s širokým dosahem (200-480 VA) již nutné. Navzdory vysoké hustotě výkonu kompaktní provedení (19palcové, příp. ½-19palcové zasunutí) dovoluje prostorově úspornou integraci do každého výrobního zařízení.

TRUMPF SystemPort

SystemPort umožňuje uzavřený regulovaný oběh pomocí měření RF signálu přímo na vstupu a výstupu matchboxu. RF generátor má k dispozici veškeré naměřené hodnoty. Díky tomu lze lépe monitorovat procesní parametry, chránit matchbox a zaručit včasnou identifikaci elektrického oblouku. Kompletní RF systém lze řídit pomocí jednoho generátorového rozhraní.

Různé možnosti umožňují optimální přizpůsobení vysokofrekvenčního generátoru vaší aplikaci.

Auto Frequency Tuning

Patentované řešení Auto Frequency Tuning umožňuje simultánní a rychlé přizpůsobení frekvence a zaručuje optimální souhru generátoru a matchboxu. Pomocí této patentované techniky není lokální minimum již žádnou překážkou: RF systém je doveden do optimálního stavu a proto umožňuje ty nejlepší procesní výsledky a vysokou opakovatelnost.

Správa vysokofrekvenčního elektrického oblouku

Promyšlená správa elektrického oblouku je ideálním modulem pro optimální kontrolu plazmového procesu. Cílená identifikace elektrického oblouku zaručuje maximální produktivitu a zároveň chrání výrobek a zařízení.

Všechny komponenty TRUMPF RF systému jsou optimálně navzájem přizpůsobeny.

Matchbox TruPlasma Match série 1000 (G2/13)

Přizpůsobovací sítě TruPlasma Match zajišťují optimální přenos výkonu od generátoru do plazmového výboje. Provoz matchboxu může probíhat samostatně nebo přes inteligentní spojení generátoru a matchboxu, tak zvaný SystemPort.

Master oscilátory

Pomocí master oscilátorů je možné stabilizovat a optimalizovat kritické synchronní plazmové procesy. Integrovaný digitální frekvenční a fázový syntetizátor zajišťuje vysokou frekvenční a fázovou stabilitu a umožňuje nastavení fázové polohy s velmi malou velikostí kroku. Lze vybrat různá provedení master oscilátorů pro frekvenci 13,56 MHz a různé kombinace frekvencí.

VF přepínač

VF přepínač dovoluje vícenásobné použití vysokofrekvenčního generátoru na různých plazmových procesních stanicích, například pro elektrické napájení postupných procesů nebo v systémech s různými napájecími body. K dispozici jsou různé VF přepínače ve dvou výkonových třídách a s 2, 3 nebo 4 výstupy.

Koaxiální kabely

Pro přenos vysokofrekvenčního výkonu nabízí TRUMPF Hüttinger koaxiální kabely, které jsou speciálně vytvořeny pro provoz v 50ohmových systémech.

Dokonalá souhra: TRUMPF RF systém

Plazmové procesy se chovají jako komplexní, proměnlivé zatížení, ke kterému je nutné generátorem neustále dovádět elektrické napájení. To činí aktivní přizpůsobovací sítě, tzv. matchboxy, které zajišťují vždy přesné přizpůsobení optimální impedanci 50 ohmů. Tak vzniká dokonale přizpůsobené systémové řešení, systém TRUMPF RF. Pomocí různých rozhraní, mj. EtherCAT, můžete generátor a matchbox velmi jednoduše integrovat do svého stávajícího procesního prostředí a díky inteligentnímu spojení matchboxu a generátoru, tak zvaného SystemPort, dosáhnout optimalizovaného systémového řešení.

V závislosti na zemi se může tento produktový sortiment a tyto údaje lišit. Změny techniky, vybavení, cena a nabídka příslušenství jsou vyhrazeny. Pro zjištění dostupnosti výrobku ve vaší zemi prosím kontaktujte svoji kontaktní osobu.

Také by vás mohla zajímat tato témata

Váš kontakt u společnosti TRUMPF Hüttinger

Zajímáte se o nějaký produkt nebo potřebujete poradenství? Zde naleznete Vaše kontaktní osoby na celém světě.

Jsme tady pro vás po celých čtyřiadvacet hodin

Our IoT Services will help to maximize your up-time and makes service support even more preventative and projectable.

Vysoká úspora nákladů v robustním designu

Inovativní, modulární, škálovatelný: nové kompaktní generátory VHF společnosti TRUMPF Hüttinger přesvědčí vysokou úsporou nákladů a robustním designem.

Servis a kontakt

Kontakt

Ehab Alhawari

Sales TRUMPF Hüttinger

Telefon +49 761 89712115

E-mail

Servis

Stažení

Plug and Play Kits - Your Retrofit Solution

pdf - 1 MB

Flyer TruPlasma RF Series 1000

pdf - 7 MB