Plazmové generátory

Generátory plazmatu opírající se o technologii solid state série TruPlasma MW se skládají z inovativní koncepce platformy a generují vysoké hustoty plazmatu pro náročné procesní požadavky. Prostřednictvím nanopulzů lze optimálně nastavit různé parametry pro požadovanou aplikaci.

Procesní napájení laserů TruPlasma Bipolar řady 4000 (G2.1) poskytuje s flexibilně tvarovatelnými výstupními signály a vylepšenou správou elektrického oblouku vynikající výsledky při výrobě solárních článků a polovodičů, při nanášení dekorativních vrstev a vrstev odolných proti opotřebení i při povlakování architektonického skla. Generátory nejnovější generace se výborně hodí pro náročné plazmové procesy, jako je reaktivní naprašování, PVD a PECVD.

Se středofrekvenčními generátory TruPlasma série MF 7000 (G2) máte stále kontrolu nad svým procesem. Výsledkem je vynikající kvalita vrstvy a nejvyšší produktivita i u náročných, velkoplošných aplikací povlakování. S maximální účinností více než 90 % jsou elektrická napájení nejnovější generace současně vysoce nákladově úsporná při provozu.

Procesní napájení laserů TruPlasma Highpulse řady 4000 (G2) umožňuje povlakování tvrdými materiály obzvláště odolné vůči korozi a opotřebení a je první volbou pro aplikace HIPIMS. V kombinaci s polarizovanými substráty může TruPlasma Highpulse řady 4000 (G2) sloužit také v polovodičových aplikacích, např. pro výplň rýhy, předběžnou úpravu povrchů a leptání.

TruPlasma DC série 4000 (G2) spojuje vynikající zpracování elektrického oblouku od společnosti TRUMPF Hüttinger s výhodami pulzní technologie se stejnosměrným proudem. Docílíte tak lepších výsledků povlakování s menším počtem vad při současně vysoké rychlosti nanášení vrstvy. Výsledkem jsou brilantní povrchy a vysoký výrobní výkon.

Jako nová generace stejnosměrných generátorů je TruPlasma DC série 3000 (G2) vhodná pro velké množství procesů stejnosměrného naprašování. Díky své pokrokové správě elektrického oblouku a integrovanému chlazení vodou jsou stejnosměrné generátory zajímavé i jako cenově výhodná alternativa k pulzním stejnosměrným generátorům. Velmi kompaktní konstrukce navíc umožňuje jednoduchou integraci do stávajících aplikací.

Generátory TruPlasma Arc série 3000 okouzlí především při povlakování tvrdými materiály a u dekorativního povlakování. Díky své kompaktní konstrukci a vzduchovému chlazení je zajištěno optimální využití cenné užitkové plochy a usnadněna integrace do nových nebo dostupných systémů.

Vzduchem chlazený vysokofrekvenční generátor TruPlasma RF 1001 Air dodává až do 1000 wattů vysoce přesnou, reprodukovatelnou vysokofrekvenční energii s extra jemným rozlišením – po 100mW krocích – a tím je vhodný pro nejrůznější plazmové aplikace. Bez ohledu na to, zda se používá při výrobě polovodičů, solárních článků nebo displejů – patentovaná technologie TRUMPF Hüttinger zaručuje všude maximální disponibilitu a nejlepší procesní výsledky díky moderním procesním funkcím.

TruPlasma RF série 1000 / 3000 (G2/13) jsou vysokofrekvenční generátory nejnovější generace. Díky inovativním funkcím, jako je patentovaná technologie vazby CombineLine nebo měření reálného času všech procesních parametrů, je bezpečné elektrické napájení zaručeno i v náročných plazmových procesech, což je optimální předpoklad pro opakovatelné výsledky a vysokou produktivitu.

Vysokovýkonové vysokofrekvenční generátory TruPlasma RF série 3000 se vyznačují maximální efektivitou a procesní stabilitou. Hodí se proto ideálně pro náročné plazmové procesy, které se používají např. při výrobě plochých obrazovek, solárních článků nebo polovodičů. Matchboxy pro přizpůsobení impedance, které jsou přesně sladěné s generátorem, zajišťují stále optimální a stabilní přenos výkonu od generátoru k plazmatu.

Maximální výkon pro váš proces: generátory TruPlasma VHF série 3000 jsou založeny na inovativním konceptu platformy, který splňuje i nejnáročnější procesní požadavky. Modulární a pouze vodou chlazená konstrukce VHF generátorů umožňuje škálování výstupního výkonu až do 80 kW, a to na nejmenším prostoru!

Pro optimální vedení plazmového procesu je důležité přesné přizpůsobení výstupní impedance vysokofrekvenčního generátoru. Tuto funkci přebírají matchboxy TruPlasma Match série 1000 (G2/13) jakožto spojovací článek mezi generátorem a procesem. Tímto způsobem vzniká komplexní řešení elektrického napájení vašeho procesu: TRUMPF RF systém.