Robustní a výkonný generátor plazmatu solid state power pro velmi vysoké hustoty plazmatu a procesní požadavky
Generátory série TruPlasma MW se opírají o technologii solid state a dosahují výrazně vyšší přesnosti frekvence než mikrovlnné generátory na bázi magnetronu. Inovativní koncepce platformy může generovat velmi vysoké hustoty plazmatu a efektivně a hospodárně realizovat i velmi náročné procesní požadavky. Modulární konstrukce umožňuje navíc přesné odstupňování výstupního výkonu. Elektrické napájení přitom zůstává stále stabilní, bez jakéhokoli negativního ovlivnění kvality procesu. Ve výrobě polovodičů, solárních článků a displejů zajišťuje série TruPlasma MW díky moderním procesním funkcím vynikající výsledky a maximální spolehlivost.
Inovativní formování pulzu v pásmu nanosekund umožňuje vynikající kontrolu plazmových procesů.
Automatické přizpůsobení frekvence zaručuje optimální výsledek procesu a vysokou opakovatelnost.
V multianténových systémech lze fázově synchronně provozovat a řídit impulzy různých generátorů. Změnou reference fází mezi jednotlivými generátory lze dosáhnout velkoplošné homogenity plazmatu.
Spolehněte se na fungování generátoru – ani u nesprávného přizpůsobení není negativně ovlivněna kvalita procesu.
Profitujte z vysoce přesné, digitální modulace frekvence, která zajišťuje opakovatelné procesní výsledky, maximální kvalitu vrstev a produktivitu.
Díky digitálnímu rozhraní EtherCat můžete zařízení velmi rychle řídit během milisekundy. To umožňuje precizní rozdělení plazmatu.
![](https://media.trumpf.com/m/2e3daf9f9d430b71/original/TruPlasma-MW-1000-3000-5000-Derivat-512x341-Solar.jpeg?w=1170&h=677)
Výroba solárních článků
V oblasti fotovoltaiky se používají plazmatické procesy jako naprašování nebo PECVD pro nanášení nebo úběr materiálu. Generátory série TruPlasma MW lze rychle přizpůsobit různým procesům a zaručují vysokou produktivitu a prvotřídní výsledky procesů. Díky preciznímu dávkování energie se dosahuje vynikajících výsledků i u nejmodernějších, velmi náročných aplikací. Vysoce přesná regulace výkonu přitom umožňuje vynikající opakovatelnost waferů.
![](https://media.trumpf.com/m/32d57476db4fd59e/original/TruPlasma-MW-Serie-1000-3000-5000-Belichtungsindustrie-Derivat-512x341.jpg?w=1170&h=677)
Výroba polovodičů
Generátory plazmatu se používají pro různé plazmatické procesy při výrobě polovodičů – od suchého leptání až po zónální tavení při výrobě křemíku. Naše série TruPlasma MW nabízí optimalizované napájení elektrickým proudem pro všechny tyto procesy
![](https://media.trumpf.com/m/5fc24460b47fec0a/original/Three-Displays-Derivat-512x341.jpg?w=1170&h=677)
Povlakování plochých monitorů
Při povlakování plochých monitorů ukážou naše generátory TruPlasma MW své silné stránky v plazmatických procesech jako PECVD, ALD a RIE.
V závislosti na zemi se může tento produktový sortiment a tyto údaje lišit. Změny techniky, vybavení, cena a nabídka příslušenství jsou vyhrazeny. Pro zjištění dostupnosti výrobku ve vaší zemi prosím kontaktujte svoji kontaktní osobu.