High Power Seed Module (HPSM) sestává ze dvou seedlaserů, které vytvářejí výstupní impulzy o intenzitě několika málo wattů, a dále z řady aktivních a pasivních optických komponent, které tvarují laserový paprsek a zajišťují optimální dobu trvání impulzu. Pomocí prvního zesilovače se světlo předem zesílí na řádovou hodnotu 100 W. Seedlasery jsou optimálně chráněny ochrannými mechanismy před zpětnými odrazy, takže stabilita celého systému je maximálně zvýšena a je možné dosáhnout požadovaného konstantního výkonu EUV.

High Power Amplification Chain (HPAC) sestává ze čtyř rezonátorů pro zvýšení výkonu, které jsou spolu propojeny prvky vedení laserového paprsku. Každý rezonátor je optimalizován pro příslušný stupeň zesílení (např. ventilátor, RF buzení, směšování plynu, vedení paprsku). Tři různé chladicí okruhy přitom zaručují v systému nezbytnou stabilitu. Krátké impulzy zajišťují extrémně vysoký špičkový výstupní výkon v rozsahu MW. Rozsáhlá online metrologie poskytuje základ pro permanentní měření paprsku.

Beam Transport System (BTS), sestávající z montážní desky, periskopu a zrcadla, přenáší laserový paprsek až 30 metrů směrem ke kapičkové komoře. Rozhodující je v zásadě jak mechanická stabilita systému při vysokém výkonovém zatížení, tak i těsnost vedení paprsku pro malou absorpci a znečištění. Zrcadla mají speciální povrstvení, aby bylo absorbováno co nejméně laserového světla.

FFA sestává ze dvou součástí zařízení, platformy optiky a zaostřovací jednotky. Pro vytvoření ideálního plazmového záblesku musí laserový impulz téměř zcela narazit do cínové kapky. Protože je však cínová kapka menší než průměr laserového paprsku, je v platformě optiky pro optimální vytvoření EUV vytvořen a oddělen předimpulz a hlavní impulz. Předimpulz naráží do cínové kapky nejprve s menším impulzním výkonem, takže kapka se přemění do kotoučovitého útvaru a plocha se zvětší. Následující hlavní impulz je absorbován vzniklým kapalinným filmem a vzniká vlastní plazma, která vytváří EUV záření. Tímto způsobem je efektivně využit 40kilowattový výkon laseru a je zaručeno procesně spolehlivé vytváření plazmových záblesků pro osvětlení. Zaostřovací jednotka zajišťuje optimální zaostřování laserového světla na cínovou kapku.