Výběr země / regionu a jazyka
TRUMPF Laser Amplifier pro výrobu vysoce výkonných čipů
CO2 laser

Díky laserovému impulzu poskytuje základ pro výrobu budoucích mikročipů.

EUV litografie jako průkopník digitální epochy

EUV litografie vyhrává souboj o výrobní metodu pro budoucí mikročipy. Mnoho let hledal polovodičový průmysl cenově efektivní metodu vhodnou pro sériovou výrobu, pomocí které by bylo možné osvítit ještě menší struktury na křemíkových waferech. Společnosti ASML, Zeiss a TRUMPF společně vyvinuly technologii vytváření extrémně ultrafialového světla (EUV) s vlnovou délkou 13,5 nm pro průmyslové použití: generátor kapiček vystřeluje ve vakuové komoře 50 000 nejmenších kapek cínu za sekundu. Každá z těchto kapek je zasažena jedním z 50 000 laserových impulzů a následně přeměněna na plazma. Tak vzniká EUV světlo, které je pomocí zrcadla odkloněno na wafer za účelem jeho osvětlení. Laserový impulz pro vyzařování plazmatu poskytuje pulzní laserové zařízení CO2 vyvinuté společností TRUMPF – TRUMPF Laser Amplifier.

Z několika wattů na 40 kilowattů

TRUMPF Laser Amplifier postupně zesiluje laserový impulz na více než 10 000násobek.

Efektivně a procesně spolehlivě

Díky vyzařování předimpulzu a hlavního impulzu lze kompletní výkon zařízení Laser Amplifier přenést na kapku cínu.

Nové využití CO2 laserů

Základem vysoce výkonného laserového systému je CO2 laser v kontinuálním režimu. Společnost TRUMPF díky tomu vytváří nové využití této technologie.

Velká síť specialistů

V průběhu dlouholeté úzké spolupráce dovedly společnosti TRUMPF, ASML a ZEISS technologii EUV do fáze připravenosti pro průmyslové použití.

Díly

… obsahuje zařízení Laser Amplifier.

Metr

… kabely jsou zabudovány do systému.

Kilo

… činí celkovou hmotnost.

Hlavní komponenty zařízení TRUMPF Laser Amplifier

Také by vás mohla zajímat tato témata

Soubor článků pro EUV litografii
V zájmu médií: EUV litografie

Zjistěte více o tématu EUV litografie v našich nejvýznamnějších článcích z odborného a popularizačního tisku.

Vizuální elektronika
Elektronika

Od opracování laserem až po pěstování krystalů: společnost TRUMPF dodává základní technologie pro výrobu výkonných polovodičů v odvětví elektroniky.

CO2 laser

TruFlow CO2 laser firmy TRUMPF je extrémně spolehlivý i v případě robustnějšího řezání a svařování v továrnách po celém světě.

Kontakt
TRUMPF Praha, spol. s r.o.
Fax +420 251 106 201
E-mail
Servis a kontakt