Wirtschaftlich Oxide und Nitride erzeugen

Реактивно разпрашаване

Икономично образуване на оксиди и нитриди

При реактивното разпрашаване, също като при пасивното разпрашаване (метод PVD), се разпрашават целите. Но атомите, които образуват слоя върху субстрата, не идват само от целта. Най-малко един от компонентите на образувалия се по-късно слой произтича от газовата фаза. Реактивният газ, съотв. неговите йонизирани съставки, реагират химично с материала на целта или неговите избити атоми. Образувалите се съединения се отлагат върху субстрата. Така например при реактивното разпрашаване на цинк в кислородна плазма се образува цинков оксид (ZnO) или при разпрашаването на алуминий в азотна плазма се образува алуминиев нитрид (AlN). Ако реакцията протича върху целта, се разпрашава продуктът на реакцията.

Бяла книга (Whitepaper)

Съставихме за Вас Бяла книга (Whitepaper) с интересни и тематично свързани материали

PDF - 715 KB

Зависи от формата: двуполярно разпрашаване

В тази статия са представени две характеристики на двуполярните електрически захранвания: (i) широк честотен диапазон на импулсите от до 100 kHz и (ii) допълнително време на изключване между положителната и отрицателната полувълна на правоъгълната форма на вълната на тока и напрежението.

PDF - 941 KB

Синусоида или правоъгълник

От въвеждането на двойното магнетронно разпрашаване (DMS) за високоизолиращи слоеве съществува избор между square wave pulse (правоъгълен импулс) и електрическо захранване sine wave (синусоидална вълна).

PDF - 567 KB

Auto Frequency Tuning

Контрамярка срещу бързите колебания в диапазона на импеданса на плазмата е автоматичната настройка на честотата, при която RF генераторът настройва своето основно колебание във времева рамка от по-малко от милисекунда, на стойност на честотата с по-добра адаптация.

PDF - 2 MB

Нова импулсна, постояннотокова технология

Постояннотоковото и импулсното постояннотоково разпрашаване е една от най-често използваните техники на разпрашаване в промишлената сфера. Въвеждането на импулсната постояннотокова техника позволи масовото производство на покрития от непроводящи съединения, получени чрез реактивно магнетронно разпрашване.

PDF - 1 MB

Transition Mode с регулиране на напрежението

Реактивното разпрашаване в модерната промишленост е метод със значителен успех в изработката на изолиращи и твърди покрития. В сравнение с изпаряването, разпрашаването предлага предимствата на йонното нанасяне на покритие, което го прави привлекателно за промишлеността, въпреки значителните разходи за комплекса и за ток.

PDF - 2 MB

Управление на дъгата

Възникването на електрическа дъга при MF магнетронно разпрашване: Познат проблем при реактивното магнетронно разпрашване е образуването на електрическа дъга на катодите.

PDF - 864 KB

LDMOS

В този документ се разглеждат въздействията на комбиниращи мощността структури върху HF- и термичната мощност на високочестотни високопроизводителни усилватели в условията на несъгласуваност.

PDF - 425 KB

HiPIMS - нови възможности за промишлеността

High Power Impulse Magnetron Sputtering (HIPIMS) (високоенергийно импулсно магнетронно разпрашаване) е най-актуалният PVD (Physical Vapor Deposition) метод на пасивно разпрашаване, с който разполага промишлеността.

PDF - 1 MB

Технология PEALD, генератор на радиочестотни сигнали и мрежи за съвпадение

При der Atomic Layer Deposition (ALD) (атомно послойно отлагане) се касае за метод, при който множество тънкослойни материали се отлага от парова фаза. В няколко цикъла на нанасяне на покритие се изгражда много тънък филм от атомни слоеве.

PDF - 3 MB

Приложение на импулсно постояннотоково разпрашаване

Едни от най-интересните поглъщащи вещества за соларни клетки са материали на основата на меден индиев селенид (CIS), чиито свойства могат да бъдат променени чрез замяна на част от индия с галий до Cu(In,Ga)Se2, познат като CIGS.

PDF - 2 MB

Прецизност в обработката

Непрекъснатите подобрения в процесите на производство на полупроводници са предпоставка за гарантирането на постоянно намаляване на размера. Това от своя страна изисква RF генератори, които предоставят все по-високо качество на сигнала по отношение на изходната мощност и времева разделителна способност.

Контакт

TRUMPF Bulgaria Ltd.

Телефон +359 2 860 1492

Имейл