При този метод лазерът изпарява материала с възможно по-малко стопен материал. Парата на материала генерира високо налягане в прореза, което избутва стопения материал нагоре и надолу. Технологичният газ – азот, аргон или хелий – предпазва повърхността на среза от околната среда. Той се грижи за предотвратяване на образуването на оксиди по ръба на разреза. Поради тази причина е достатъчно налягане на газа от 1 до 3 bar.
Изпаряването на метал изисква повече енергия от стапянето му. Затова рязането чрез сублимиране изисква високи лазерни мощност и е по-бавно от останалите методи на рязане. За сметка на това то създава висококачествени ръбове на разрез.
