Иновативни, модулни, мащабируеми: новата платформа за генератори от TRUMPF Hüttinger
See comment Модулната конструкция с изцяло водно охлаждане позволява мащабиране на изходящата мощност до 80 kW. Освен това компактните VHF генератори впечатляват с висока рентабилност и здрав дизайн.
Предлага се най-добрият контрол на процеса с плазмена технология за наличното генериране на единичен и многослоен импулс.
Това позволява много гъвкаво управление на поведението на запалване на генератора.
Автоматично адаптиране на честотата за оптимално съгласуване на генератора и Matchbox.
Отлични, повторяеми резултати от процесите благодарение на изключително прецизната цифрова честотна модулация.
Не са необходими адаптирания на дължината на високочестотния кабел при промени на процеса, следователно се постигат кратки времена за зареждане.
Надеждна функция на генераторите дори при неправилно адаптиране благодарение на технологията CombineLine.
Производство на соларни клетки
В областта на фотоволтаиците съществуват редица области на приложения на прецизната енергия за процеси. Тук се използват различни процеси с плазмена технология за нанасяне и снемане на материал, напр. процеси на разпрашаване, PECVD процеси и процеси за ецване. Генераторите TruPlasma VHF серия 3000 позволяват оптимално адаптиране към съответния процес, като бързото управление на дъгата позволява стабилно контролиране на плазмата. Така се гарантират отлични резултати от процеса и висока производителност.
Производство на полупроводници
При производството на полупроводници се използват различни процеси с плазмена технология – от процеси на отнемане на материал, през сухо ецване, до зонално стапяне при производството на чист силиций. Генераторите TruPlasma VHF серия 3000 предлагат всички предпоставки за стабилно и оптимално адаптирано за съответния процес електрозахранване, за да се постигнат отлични повторяеми резултати.
Идеални за нанасяне на покрития на плоски екрани
Генераторите TruPlasma серия VHF серия 3000 са идеални за процеси с плазмена технология, като RIE, ALD, PECVD и RF разпрашаване. Тези технологии се използват също за производството на полупроводникови елементи и микромеханични системи (MEMS), както и при нанасянето на покрития на плоски екрани и соларни клетки.
Гъвкаво адаптиране в зависимост от процеса
Модулната концепция на платформата на TruPlasma VHF серия 3000 позволява мащабиране на изходящия проводник до 80 kW. Благодарение на имплементираната технология CombineLine генераторът има стабилно поведение дори и при неправилно адаптиране. Неговият широк честотен диапазон, както и променливото мрежово напрежение и дължина на кабела, позволяват гъвкаво адаптиране в зависимост от различните приложения и държавите на експлоатация.
Максимална ефективност и рентабилност
Високочестотните генератори TruPlasma VHF серия 3000 са напълно вградени в най-съвременната полупроводникова технология с транзистори на мощност LDMOS. Равнинната технология за допълнителен монтаж с висока степен на интеграция при едновременна висока енергийна ефективност и съответно понижено охлаждащо действие. По този начин това семейство предлага непостигана до момента рентабилност в този честотен диапазон и намалява стандартните за пазара експлоатационни разходи.
TRUMPF SystemPort
SystemPort позволява затворен кръг за регулиране чрез измерване на RF сигнала директно на входа и на изхода на Matchbox. Всички измерени стойности се подават към RF генератора. По този начин параметрите на процеса се следят по-добре, Matchbox се предпазва и се осигурява ранно разпознаване на дъга. Така цялата RF система може да се управлява с един единствен интерфейс на генератора.
Различните опции Ви позволяват оптимално адаптиране VHF високочестотния генератор в зависимост от Вашето приложение.
Специално разработеното управление на дъгата е идеалният модул за оптимален контрол на процесите с плазмена технология. Целево разпознаване на дъгата гарантира максимална производителност и едновременно с това предпазва продукта и Вашата система.
Гъвкаво формиране на импулс: формата на изходящия сигнал може да се адаптира произволно към съответните изисквания за процеса.
Патентованото решение Auto Frequency Tuning позволява едновременно и бързо адаптиране на честотата и гарантира оптимално съгласуване на генератора и Matchbox. С помощта на тази патентована технология локалният минимум вече не е пречка: RF системата се насочва към оптималните характеристики и това позволява най-добрите резултати от процесите и високо ниво на повторяемост.
TruControl Power
Лесният за използване софтуер за управление TruControl Power позволява комфортно пускане в експлоатация и надеждно следене на високочестотния генератор, съотв. на цялата RF система от TRUMPF, по време на изпълнение на процеса.
Чрез избор на подходящи системни компоненти можете да адаптирате VHF генератора оптимално към изискванията на Вашето приложение.
Адаптиращите мрежи TruPlasma Match осигуряват оптимален пренос на мощност от генератора към разреждането на плазма. Работата на Matchbox може да се извършва самостоятелно или с помощта на интелигентна връзка генератор-Matchbox, така наречения SystemPort.
Той се състои от адаптер за свързване към водата, комплект за променливотоково захранване на HARTING AC, джъмпер за функцията за блокиране, адаптер за LEMO EPL на BNC – женски (за щекера за синхронизиране на часовника и импулсите).
С помощта на основни осцилатори е възможно стабилизирането и оптимизирането на критични синхронни процеси с плазмена технология. Интегриран цифров честотен и фазов синтезатор осигурява висока стабилност на честотата и фазата и позволява настройването на положението на фазата със стъпки с много малка ширина. Можете да избирате между различни изпълнения на основни осцилатори за честота 13,56 MHz, както и различни комбинации от честоти.
Високочестотен комутатор позволява многократното използване на високочестотен генератор за различни станции от процеса с плазмена технология, например за електрозахранване на последователни процеси или за системи с различни точки на захранване. Предлагат се различни високочестотни комутатори в два мощностни класа, както и с 2, 3 или 4 изхода.
За прехвърлянето на високочестотната мощност TRUMPF Hüttinger предлага коаксиални кабели, предназначени за работа в системи на 50 Ohm.
Перфектно съгласувани: RF системата от TRUMPF
Процесите с плазмена технология имат поведението на комплексен, променлив товар, на който постоянно трябва да се подава електрическо захранване от генератора. Това се извършва от активните съгласуващи усилватели, така наречените Matchbox, които осигуряват по всяко време прецизно адаптиране към оптималния импеданс 50 Ohm. Така се получава перфектно съгласувано системно решение, RF системата TRUMPF. С помощта на различни интерфейси, включително EtherCAT, можете много лесно да интегрирате генератора и съгласуващия усилвател във Вашата съществуваща среда на процеса и да постигнете оптимално системно решение с помощта на интелигентна връзка генератор - съгласуващ усилвател, така наречения SystemPort.
Възможни са отклонения от този продуктов асортимент и от тези данни в зависимост от държавата. Запазваме си правото на изменения в технологията, оборудването, цената или предложението за окомплектоване. Моля, свържете се с Вашия местен търговски представител, за да научите дали продуктът се предлага във Вашата страна.
