Гаранти за отлични резултати от процесите
С тези високочестотни генератори винаги постигате оптимални резултати: TruPlasma RF серия 3000 се отличават със здрава конструкция и висока ефективност. Благодарение на това те са пригодени идеално за стабилни, повторяеми процеси с плазмена технология, каквито се срещат например при производството на плоски екрани, соларни клетки или полупроводници. Монтирани в хиляди приложения по целия свят, тези генератори гарантират висока производителност и отлични резултати от процесите.
Коефициентите на полезно действие до 80% позволяват понижаване на разходите за енергия с до 50%.
Надеждно управление дори и на сложни и иновативни процеси.
Технологията CombineLine: надеждна защита срещу отразени мощности при неправилно адаптиране.
Непрекъснато или импулсно подаване на мощност, благодарение на което са универсално приложими.
Процеси на ецване и нанасяне на покрития
Високочестотните генератори TruPlasma RF серия 3000 са особено подходящи за процеси на ецване и нанасяне на покрития, напр. плазмено ецване, реактивно йонно ецване, ALD и PECVD.
Нанасяне на покрития на метални детайли
Чрез процеси с плазмена технология е възможно както полагането на материал върху повърхността, така и отнемането на материал, например при нанасяне на покритие на метални детайли с износоустойчив слой или при структурирането на електронни компоненти чрез плазмено ецване или чрез плазмено изпичане на фотобоя.
Нанасяне на покрития на плоски екрани и соларни клетки
Високочестотните генератори TruPlasma серия RF серия 3000 са идеални за процеси с плазмена технология, като RIE, ALD, PECVD и RF разпрашаване. Тези технологии се използват също и при нанасянето на покрития на плоски екрани и соларни клетки.
Максимална ефективност и стабилност на процесите
Понижаване на загубата на мощност наполовина и намаляване на разхода на охлаждаща вода благодарение на отличния коефициент на полезно действие – така свеждате експлоатационните разходи до минимум. Изключително здравата конструкция на генераторите позволява по-продължително време на работа дори при критични процеси, а това спомага за по-високи скорости на нанасяне на покритията. Колебанията на плазмата се предотвратяват ефективно благодарение на технологията CombineLine с действителен изходящ импеданс 50 Ohm – така са възможни напълно стабилни процеси.
Безопасност при всякакви обстоятелства
Здравата конструкция осигурява максимална надеждност и производителност на Вашия процес. 100% защита от грешно адаптиране гарантира безопасна работа дори при критични товари. Изборът на непрекъснато или импулсно подаване на мощност позволява поддържане на широка гама изисквания на процеса. В целия свят вече са монтирани над 20.000 модула – повече от всяко друго електрозахранване за плазма.
TRUMPF SystemPort
SystemPort позволява затворен кръг за регулиране чрез измерване на RF сигнала директно на входа и на изхода на Matchbox. Всички измерени стойности се подават към RF генератора. По този начин параметрите на процеса се следят по-добре, Matchbox се предпазва и се осигурява ранно разпознаване на дъга. Така цялата RF система може да се управлява с един единствен интерфейс на генератора.
Различните опции Ви позволяват оптимално адаптиране високочестотния генератор в зависимост от Вашето приложение.
Специално разработеното управление на дъгата е идеалният модул за оптимален контрол на процесите с плазмена технология. Целево разпознаване на дъгата гарантира максимална производителност и едновременно с това предпазва продукта и системата.
TruControl Power
Лесният за използване софтуер за управление TruControl Power позволява комфортно пускане в експлоатация и надеждно следене на високочестотния генератор, съотв. на цялата RF система от TRUMPF, по време на изпълнение на процеса.
Всички компоненти на RF системата от TRUMPF са оптимално съгласувани.
Адаптиращите мрежи TruPlasma Match осигуряват оптимален пренос на мощност от генератора към разреждането на плазма. Работата на Matchbox може да се извършва самостоятелно или с помощта на интелигентна връзка генератор-Matchbox, така наречения SystemPort.
С помощта на основни осцилатори е възможно стабилизирането и оптимизирането на критични синхронни процеси с плазмена технология. Интегриран цифров честотен и фазов синтезатор осигурява висока стабилност на честотата и фазата и позволява настройването на положението на фазата със стъпки с много малка ширина. Можете да избирате между различни изпълнения на основни осцилатори за честота 13,56 MHz, както и различни комбинации от честоти.
Високочестотен комутатор позволява многократното използване на високочестотен генератор за различни станции от процеса с плазмена технология, например за електрозахранване на последователни процеси или за системи с различни точки на захранване. Предлагат се различни високочестотни комутатори в два мощностни класа, както и с 2, 3 или 4 изхода.
За прехвърлянето на високочестотната мощност TRUMPF Hüttinger предлага коаксиални кабели, предназначени за работа в системи на 50 Ohm.
Перфектно съгласувани: генератор и Matchbox
Процесите с плазмена технология имат поведението на комплексен, променлив товар, на който постоянно трябва да се подава електрическо захранване от генератора. Това се извършва от активните съгласуващи усилватели, така наречените Matchbox, които осигуряват по всяко време прецизно адаптиране към оптималния импеданс 50 Ohm. Така се получава перфектно съгласувано системно решение, RF системата TRUMPF. С помощта на различни интерфейси, включително EtherCAT, можете много лесно да интегрирате генератора и съгласуващия усилвател във Вашата съществуваща среда на процеса и да постигнете оптимално системно решение с помощта на интелигентна връзка генератор - съгласуващ усилвател, така наречения SystemPort.
Възможни са отклонения от този продуктов асортимент и от тези данни в зависимост от държавата. Запазваме си правото на изменения в технологията, оборудването, цената или предложението за окомплектоване. Моля, свържете се с Вашия местен търговски представител, за да научите дали продуктът се предлага във Вашата страна.
