Избор на държава/регион и език
Плазмено възбуждане

TruPlasma RF серия 3000

Високочестотна технология без компромиси

Гаранти за отлични резултати от процесите

С тези високочестотни генератори винаги постигате оптимални резултати: TruPlasma RF серия 3000 се отличават със здрава конструкция и висока ефективност. Благодарение на това те са пригодени идеално за стабилни, повторяеми процеси с плазмена технология, каквито се срещат например при производството на плоски екрани, соларни клетки или полупроводници. Монтирани в хиляди приложения по целия свят, тези генератори гарантират висока производителност и отлични резултати от процесите.

Ефективност и рентабилност

Коефициентите на полезно действие до 80% позволяват понижаване на разходите за енергия с до 50%.

Отлично управление на RF дъгата

Надеждно управление дори и на сложни и иновативни процеси.

Висока здравина и стабилност на процесите

Технологията CombineLine: надеждна защита срещу отразени мощности при неправилно адаптиране.

Максимална гъвкавост

Непрекъснато или импулсно подаване на мощност, благодарение на което са универсално приложими.

Процеси на ецване и нанасяне на покрития

Високочестотните генератори TruPlasma RF серия 3000 са особено подходящи за процеси на ецване и нанасяне на покрития, напр. плазмено ецване, реактивно йонно ецване, ALD и PECVD.

Нанасяне на покрития на метални детайли

Чрез процеси с плазмена технология е възможно както полагането на материал върху повърхността, така и отнемането на материал, например при нанасяне на покритие на метални детайли с износоустойчив слой или при структурирането на електронни компоненти чрез плазмено ецване или чрез плазмено изпичане на фотобоя.

Нанасяне на покрития на плоски екрани и соларни клетки

Високочестотните генератори TruPlasma серия RF серия 3000 са идеални за процеси с плазмена технология, като RIE, ALD, PECVD и RF разпрашаване. Тези технологии се използват също и при нанасянето на покрития на плоски екрани и соларни клетки.

Максимална ефективност и стабилност на процесите

Понижаване на загубата на мощност наполовина и намаляване на разхода на охлаждаща вода благодарение на отличния коефициент на полезно действие – така свеждате експлоатационните разходи до минимум. Изключително здравата конструкция на генераторите позволява по-продължително време на работа дори при критични процеси, а това спомага за по-високи скорости на нанасяне на покритията. Колебанията на плазмата се предотвратяват ефективно благодарение на технологията CombineLine с действителен изходящ импеданс 50 Ohm – така са възможни напълно стабилни процеси.

Безопасност при всякакви обстоятелства

Здравата конструкция осигурява максимална надеждност и производителност на Вашия процес. 100% защита от грешно адаптиране гарантира безопасна работа дори при критични товари. Изборът на непрекъснато или импулсно подаване на мощност позволява поддържане на широка гама изисквания на процеса. В целия свят вече са монтирани над 20.000 модула – повече от всяко друго електрозахранване за плазма.

TRUMPF SystemPort

SystemPort позволява затворен кръг за регулиране чрез измерване на RF сигнала директно на входа и на изхода на Matchbox. Всички измерени стойности се подават към RF генератора. По този начин параметрите на процеса се следят по-добре, Matchbox се предпазва и се осигурява ранно разпознаване на дъга. Така цялата RF система може да се управлява с един единствен интерфейс на генератора.

Различните опции Ви позволяват оптимално адаптиране високочестотния генератор в зависимост от Вашето приложение.

Управление на дъгата

Специално разработеното управление на дъгата е идеалният модул за оптимален контрол на процесите с плазмена технология. Целево разпознаване на дъгата гарантира максимална производителност и едновременно с това предпазва продукта и системата.

TruControl Power

Лесният за използване софтуер за управление TruControl Power позволява комфортно пускане в експлоатация и надеждно следене на високочестотния генератор, съотв. на цялата RF система от TRUMPF, по време на изпълнение на процеса.

Всички компоненти на RF системата от TRUMPF са оптимално съгласувани.

TruPlasma Match серия 1000 (G2/13)
Адаптиращите мрежи TruPlasma Match осигуряват оптимален пренос на мощност от генератора към разреждането на плазма. Работата на Matchbox може да се извършва самостоятелно или с помощта на интелигентна връзка генератор-Matchbox, така наречения SystemPort.
Основни осцилатори
С помощта на основни осцилатори е възможно стабилизирането и оптимизирането на критични синхронни процеси с плазмена технология. Интегриран цифров честотен и фазов синтезатор осигурява висока стабилност на честотата и фазата и позволява настройването на положението на фазата със стъпки с много малка ширина. Можете да избирате между различни изпълнения на основни осцилатори за честота 13,56 MHz, както и различни комбинации от честоти.
Високочестотен комутатор
Високочестотен комутатор позволява многократното използване на високочестотен генератор за различни станции от процеса с плазмена технология, например за електрозахранване на последователни процеси или за системи с различни точки на захранване. Предлагат се различни високочестотни комутатори в два мощностни класа, както и с 2, 3 или 4 изхода.
Коаксиални кабели
За прехвърлянето на високочестотната мощност TRUMPF Hüttinger предлага коаксиални кабели, предназначени за работа в системи на 50 Ohm.

Перфектно съгласувани: генератор и Matchbox

Процесите с плазмена технология имат поведението на комплексен променлив товар, който трябва да се компенсира постоянно от генератора. Това се извършва от активните адаптиращи мрежи, така наречените Matchbox, които осигуряват постоянно адаптиране към оптималния импеданс 50 Ohm. Така се получава перфектно съгласувано системно решение, RF системата TRUMPF. С помощта на различни интерфейси, включително EtherCAT, можете много лесно да интегрирате генератора и Matchbox във Вашата съществуваща среда на процеса и да постигнете оптимално системно решение с помощта на интелигентна връзка генератор-Matchbox, така наречения SystemPort.

Възможни са отклонения от този продуктов асортимент и от тези данни в зависимост от държавата. Запазваме си правото на изменения в технологията, оборудването, цената или предложението за окомплектоване. Моля, свържете се с Вашия местен търговски представител, за да научите дали продуктът се предлага във Вашата страна.

Вероятно и следните теми са Ви интересни

TRUMPF Hüttinger по света
Вашите контакти в TRUMPF Hüttinger

Интересувате се от продукт или се нуждаете от консултация? Тук ще намерите Вашето лице за връзка навсякъде по света.

Достъпно за вас денонощно

Our IoT Services will help to maximize your up-time and makes service support even more preventative and projectable.

VHF Generator Serie 3000
Висока рентабилност в здрава конструкция

Иновативни, модулни, мащабируеми: Новите компактни VHF-генератори на TRUMPF Hüttinger впечатляват с висока рентабилност и здрава конструкция.

Контакт
Ehab Alhawari
Sales TRUMPF Hüttinger
Имейл
Услуги
Споразумения за сервизно обслужване Научете повече Техническа сервизна служба Научете повече Обучения Научете повече Оригинални части Научете повече
Изтегляне
Сервиз и контакти