Плазмогенератори

Базираните на полупроводници плазмени генератори от серията TruPlasma MW се състоят от иновативна концепция на платформата и генерират най-висока плътност на плазмата за високи технологични изисквания. Наноимпулсите позволяват да се регулират оптимално широк диапазон от параметри на плазмата за желаното приложение.

Благодарение на гъвкаво формиращите се изходни сигнали и прецизираното управление на електрическата дъга, захранванията с ток за процеса на TruPlasma Bipolar серия 4000 (G2.1) осигуряват отлични резултати при производството на соларни панели и полупроводници, при нанасянето на декоративни и износоустойчиви слоеве, както и за нанасяне на покритие на архитектурно стъкло. Генераторите от последното поколение са идеални за сложните плазмени процеси, като реактивно разпрашаване, PVD и PECVD.

Със средночестотните генератори на TruPlasma серия MF 7000 (G2) винаги имате пълен контрол над Вашия процес – това спомага за получаване на отлично качество на слоевете и максимална производителност дори и при сложни приложения за нанасяне на покритие на големи площи. С високи коефициенти на полезно действие над 90% тези електрозахранвания от най-ново поколение едновременно са изключително рентабилни по време на работа.

Електрическите захранвания за процеси на TruPlasma Highpulse серия 4000 (G2) осигуряват особено устойчиви на корозия и износоустойчиви твърдосплавни покрития и са първият избор за HIPIMS приложения. В комбинация с поляризираните субстрати TruPlasma Highpulse серия 4000 (G2) могат да се използват за приложения за полупроводници, като например Trench Filling, предварителна обработка на повърхности и ецване.

TruPlasma DC серия 4000 (G2) обединяват отличното управление на дъгата от TRUMPF Hüttinger с предимствата на технологията с постояннотокови импулси. По този начин постигате по-добри резултати от нанасянето на покрития с по-малко дефекти при еднакво високи скорости на нанасяне. Резултатът е брилянтни повърхности и висока производителност.

Като ново поколение постояннотокови генератори TruPlasma DC серия 3000 (G2) са подходящи за редица постояннотокови процеси на разпрашаване. Благодарение на прогресивното управление на дъгата и интегрираното водно охлаждане постояннотоковите генератори са интересни и като изгодна алтернатива на импулсните постояннотокови генератори. Освен това много компактната конструкция позволява лесно интегриране в съществуващи приложения.

Генераторите TruPlasma Arc серия 3000 впечатляват преди всичко при нанасяне на твърдосплавни и декоративни покрития. Благодарение на тяхната компактна конструкция и на въздушното охлаждане се осигурява оптимално оползотворяване на ценна полезна площ и се улеснява интегрирането в нови или съществуващи системи.

Високочестотният генератор с въздушно охлаждане TruPlasma RF 1001 Air осигурява до 1000 вата прецизна и повторяема високочестотна енергия с изключително фина разделителна способност – през стъпки от по 100 mW – и благодарение на това е подходяща за различни плазмени приложения. Независимо дали при производството на полупроводници, соларни клетки, или дисплеи – патентованата технология на TRUMPF Hüttinger гарантира навсякъде максимална експлоатационна готовност и най-добри резултати от процесите благодарение на съвременните функции за процеси.

TruPlasma RF серия 1000/3000 (G2/13) са високочестотни генератори от най-ново поколение. Благодарение на иновативните функции, като патентованата технология за свързване CombineLine или измерването на всички параметри на процеса в реално време, се гарантира надеждно електрозахранване дори и при сложни процеси с плазмена технология – оптимални предпоставки за повторяеми резултати и висока производителност.

Мощните високочестотни генератори TruPlasma RF серия 3000 се отличават с максимална ефективност и стабилност на процесите. Благодарение на това те са идеални за сложни процеси с плазмена технология, каквито се срещат например при производството на плоски екрани, соларни клетки или полупроводници. Прецизно съгласуваните с генератора Matchbox за адаптиране на импеданса осигуряват постоянно оптимален и стабилен пренос на мощността от генератора към плазмата.

Максимална мощност за Вашия процес: генераторите TruPlasma VHF серия 3000 се базират на концепция за иновативна платформа, която отговаря дори на сложните изисквания на процеса. Модулната конструкция с изцяло водно охлаждане на VHF генераторите позволява мащабиране на изходящата мощност до 80 kW, при това в минимално пространство!

За оптимално управление на процес с плазмена технология се изисква прецизно адаптиране на изходящия импеданс на високочестотния генератор. Това се осигурява от Matchbox TruPlasma Match серия 1000 (G2/13) като свързващо звено между генератора и процеса. По този начин се получава цялостно решение за електрозахранването на Вашия процес – RF системата от TRUMPF.