Устойчив и високопроизводителен, базиран на полупроводници плазмен генератор за най-висока плътност на плазмата и изисквания на процеса
Генераторите от серията TruPlasma MW са базирани на полупроводникова технология и постигат значително по-висока честотна точност от магнетронните микровълнови генератори. Иновативната концепция на платформата може да реализира най-високата плътност на плазмата и много високи изисквания на процеса по ефективен и икономичен начин. Модулната конструкция позволява и прецизно мащабиране на изходната мощност. Електрическото захранване остава стабилно по всяко време, без да се влошава качеството на процеса. Серията TruPlasma MW осигурява най-добри резултати и най-висока надеждност при производството на полупроводници, соларни клетки и дисплеи, благодарение на модерните функции на процеса.
Иновативното пулсиране в наносекундния диапазон позволява най-добър контрол на плазмения процес.
Автоматичното регулиране на честотата гарантира оптимален резултат от процеса и висока възпроизводимост.
В многоантенните системи различните генератори могат да работят фазово-синхронно и импулсно. Чрез промяна на фазовите референции между отделните генератори може да се постигне хомогенност на плазмата в голям мащаб.
Разчитайте на функцията на генератора – дори в случай на несъответствие, качеството на процеса няма да бъде засегнато.
Възползвайте се от изключително точна цифрова честотна модулация, която осигурява повтаряеми резултати от процеса, най-високо качество на слоевете и производителност.
Цифровото място за свързване EtherCat Ви позволява да управлявате устройството много бързо в рамките на една милисекунда. Това позволява прецизно разпределение на плазмата.
![](https://media.trumpf.com/m/2e3daf9f9d430b71/original/TruPlasma-MW-1000-3000-5000-Derivat-512x341-Solar.jpeg?w=1170&h=677)
Производство на соларни клетки
В областта на фотоволтаиката се използват плазмени процеси като разпрашаване или PECVD за отлагане и отстраняване на материали. Генераторите от серията TruPlasma MW могат бързо да се адаптират към различните процеси и да гарантират висока производителност и първокласни резултати. Благодарение на прецизното отчитане на енергията най-добрите резултати се постигат дори и при най-модерните и взискателни приложения. В същото време високопрецизното регулиране на мощността позволява най-добрата повтаряемост между отделните пластини.
![](https://media.trumpf.com/m/32d57476db4fd59e/original/TruPlasma-MW-Serie-1000-3000-5000-Belichtungsindustrie-Derivat-512x341.jpg?w=1170&h=677)
Производство на полупроводници
Плазмените генератори се използват за широк спектър от плазмени процеси в производството на полупроводници – от сухо ецване до изтегляне на зони при производството на силиций. Нашата серия TruPlasma MW предлага оптимизирани захранвания за всички тези процеси
![](https://media.trumpf.com/m/5fc24460b47fec0a/original/Three-Displays-Derivat-512x341.jpg?w=1170&h=677)
Покритие на плоски екрани
Когато става въпрос за нанасяне на покрития върху плоски екрани, нашите генератори TruPlasma MW показват силата си при плазмени процеси като PECVD, ALD и RIE.
Възможни са отклонения от този продуктов асортимент и от тези данни в зависимост от държавата. Запазваме си правото на изменения в технологията, оборудването, цената или предложението за окомплектоване. Моля, свържете се с Вашия местен търговски представител, за да научите дали продуктът се предлага във Вашата страна.