Избор на държава/регион и език
Лазерният усилвател TRUMPF за производство на високопроизводителни чипове
CO2 лазер

С лазерния импулс осигурява базата за производството на бъдещите микрочипове.

EUV литографията като билет за дигиталната ера

EUV литографията печели състезанието за метода на производство на микрочиповете от бъдещето. В продължение на много години индустрията за производство на полупроводници търсеше икономична по отношение на разходите и позволяваща масово производство технология, с която да могат да се осветяват още по-малки структури върху силициеви пакети. В съвместно партньорство ASML, Zeiss и TRUMPF разработиха технология за получаване на екстремно ултравиолетова светлина (EUV) с дължина на вълната 13,5 нанометра за промишлена употреба: във вакуумна камера генератор на капки подава 50 000 много малки капки калай в секунда. Всяка от тези капки се среща с един от 50 000 лазерни импулса, който я превръща в плазма. По този начин се получава EUV светлина, която се насочва от огледала към пакета за осветяване. Лазерният импулс за облъчването на плазмата се предоставя от разработена от TRUMPF импулсна CO2 лазерна система – TRUMPF Laser Amplifier.

От няколко вата до 40 киловата

TRUMPF Laser Amplifier усилва лазерен импулс последователно с повече от 10 000 пъти.

Ефективно и надеждно

Чрез излъчването на предварителен и основен импулс е възможно пълната мощност на Laser Amplifier да се прехвърли към капките калай.

Ново приложение за CO2 лазер

Базата за системата с висока мощност е CO2 лазер в cw режим. По този начин TRUMPF създава ново приложение за технологията.

Голяма мрежа от специалисти

С дългогодишното си тясно сътрудничество TRUMPF, ASML и ZEISS направиха технологията EUV подходяща за употреба в индустрията.

Части

… съдържа Laser Amplifier.

метра

... Кабелите са вградени в системата.

килограма

... е общото тегло.

Централни компоненти за TRUMPF Laser Amplifier

Тези теми може би също Ви интересуват

Събрани статии за EUV литографията
Във фокуса на медиите: EUV литографията

Научете повече на тема EUV литография в нашите основни статии от специализираната и обществената преса.

Визуална електроника
Електроника

От лазерната обработка до нарастване на кристали: TRUMPF доставя основни технологии за производство на мощни полупроводници в електрониката.

CO2 лазер

Извънредно надежден, дори ако нещата стават все по-силни – лазерите TruFlow CO2 на TRUMPF режат и заваряват в цехове по цял свят.

Контакт
Сервиз и контакти